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講演抄録/キーワード
講演名 2007-08-03 13:30
パターニングしたSOI基板上のGaNナノロッド成長とその評価
徐 鍾旭長谷川繁彦朝日 一阪大ED2007-136 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2007-136
抄録 (和) 窒化物半導体は光エレクトロニクスのキーデバイスとして期待されている.その中で,次世代ディスプレイとして注目されている電子放出ディスプレイに応用するために,本研究ではマトリクス構造のGaN電子放出エミッタの作製を試み,フォトリソグラフィ及びエッチングでパターニングしたSOI基板上に,分子線エピタキシー法でGaNナノロッドを成長して,その評価を行った. 
(英) III-nitrtide semiconductors are expected to be key materials for optoelectronics. In this study, we have tried to fabricate GaN-based field emitter arrays toward application to field emission displays. We have investigated structural properties and field emission characteristics of field emission arrays consisting of GaN nanorods grown on patterned SOI substrates by molecular beam epitaxy.
キーワード (和) GaNナノロッド / 電界放出 / MBE / SOI基板 / / / /  
(英) GaN nanorods / field emission / MBE / SOI substrate / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 107, no. 177, ED2007-136, pp. 1-4, 2007年8月.
資料番号 ED2007-136 
発行日 2007-07-27 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2007-136 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2007-136

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2007-08-03 - 2007-08-03 
開催地(和) 大阪大学 吹田キャンパス 銀杏会館 
開催地(英)  
テーマ(和) 電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2007-08-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) パターニングしたSOI基板上のGaNナノロッド成長とその評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Growth and analysis of GaN nanorods on the patterned SOI substrate 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) GaNナノロッド / GaN nanorods  
キーワード(2)(和/英) 電界放出 / field emission  
キーワード(3)(和/英) MBE / MBE  
キーワード(4)(和/英) SOI基板 / SOI substrate  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 徐 鍾旭 / Jonguk Seo / セオ ジョンウク
第1著者 所属(和/英) 大阪大学 産業科学研究所 (略称: 阪大)
The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University (略称: Osaka Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 長谷川 繁彦 / Shigehiko Hasegawa / ハセガワ シゲヒコ
第2著者 所属(和/英) 大阪大学 産業科学研究所 (略称: 阪大)
The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University (略称: Osaka Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 朝日 一 / Hajime Asahi / アサヒ ハジメ
第3著者 所属(和/英) 大阪大学 産業科学研究所 (略称: 阪大)
The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University (略称: Osaka Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2007-08-03 13:30:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2007-136 
巻番号(vol) vol.107 
号番号(no) no.177 
ページ範囲 pp.1-4 
ページ数
発行日 2007-07-27 (ED) 


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