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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-06-29 16:00 熱光学スイッチ／水晶振動子におけるシリコンウェハの重要性 ～ 128×128マトリックス光スイッチ／セラミックPKGシートの置き換え ～ ○渡邊隆彌（FT design Lab.）  EMD2007-16 CPM2007-34 OME2007-20 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2007-16 CPM2007-34 OME2007-20 |
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| 抄録 | （和） | 導体製造技術を基本に作製される。特に光デバイスや水晶振動子においても 材料面で大口径シリコンウェハを使用することの重要性は、精密工学的にもコスト面でもはかりしれないメリットがある。今回、Siサイズ200mm×140mmに128×128マトリックス熱光学光スイッチの実現性と現在実用化されているシート方式でのセラミックPKGの置き換えを目標にΦ300mmシリコンウェハ内に実装面積1ｍ? 以下の水晶振動子や水晶発振器の適用の可能性を検討した。 |
| （英） | Optoelectric devices are made based on the semiconductor processing technology. Especially, the enhancement of the use of the large diameter silicon wafer on the material is measured in the precision engineering on the cost and there are advantages of no be known in optical devices and the crystal units. The feasibility of a 128×128 matrix thermooptic optical switch is examined on silicon size 200mm×140mm. Additionally, the possibility of the application of the quartz unit of 1ｍ? or less in the mounting area and the crystal oscillator is examined in the Φ300mm silicon wafer aiming at the replacement of ceramic PKG it by the sheet method that has been put to practical use now. |
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| キーワード | （和） | 水晶振動子 / ホモエピタキシャル成長水晶薄膜 / Φ300ｍｍシリコンウェハ / 石英系熱光学光スイッチ / 128×128マトリックス光スイッチ / / / |
| （英） | quartz units / homo-epitaxial growth quartz thin film / Φ300mm silicon wafer / silica-based thermooptic / 128×128 matrix optical switch / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 122, CPM2007-34, pp. 21-26, 2007年6月. | |
| 資料番号 | CPM2007-34 | |
| 発行日 | 2007-06-22 (EMD, CPM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2007-16 CPM2007-34 OME2007-20 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2007-16 CPM2007-34 OME2007-20 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD CPM OME |
| 開催期間 | 2007-06-29 - 2007-06-29 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 材料デバイスサマーミーティング |
| テーマ（英） | ES Summer Meeting of Materials and Devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2007-06-EMD-CPM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 熱光学スイッチ／水晶振動子におけるシリコンウェハの重要性 |
| サブタイトル（和） | 128×128マトリックス光スイッチ／セラミックPKGシートの置き換え |
| タイトル（英） | An enhancement of silicon wafer in thermooptic switches/quartz units |
| サブタイトル（英） | A 128×128 matrix switch/Replacement of ceramic PKG sheet |
| キーワード(1)（和/英） | 水晶振動子 / quartz units |
| キーワード(2)（和/英） | ホモエピタキシャル成長水晶薄膜 / homo-epitaxial growth quartz thin film |
| キーワード(3)（和/英） | Φ300ｍｍシリコンウェハ / Φ300mm silicon wafer |
| キーワード(4)（和/英） | 石英系熱光学光スイッチ / silica-based thermooptic |
| キーワード(5)（和/英） | 128×128マトリックス光スイッチ / 128×128 matrix optical switch |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡邊 隆彌 / Takaya Watanabe / ワタナベ タカヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | FT design Lab. (略称： FT design Lab.) FT Design Lab. (略称： FT design Lab.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-06-29 16:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | EMD2007-16, CPM2007-34, OME2007-20 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.121(EMD), no.122(CPM), no.123(OME) |
| ページ範囲 | pp.21-26 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2007-06-22 (EMD, CPM, OME) |
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