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| 講演名 | 2007-06-16 11:35 Alイオン注入4H-SiCの電気特性とダイオード特性 ○佐藤政孝・宮川晋悟・工藤尚宏・永田翔平・田島 卓・中村 徹（法政大）  ED2007-45 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2007-45 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 95, ED2007-45, pp. 75-78, 2007年6月. | |
| 資料番号 | ED2007-45 | |
| 発行日 | 2007-06-08 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2007-45 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2007-45 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2007-06-15 - 2007-06-16 |
| 開催地（和） | 富山大学 |
| 開催地（英） | Toyama Univ. |
| テーマ（和） | 化合物半導体プロセス・デバイス・一般 |
| テーマ（英） | Compound Semiconductor Process, Device, etc |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2007-06-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Alイオン注入4H-SiCの電気特性とダイオード特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electrical and structural properties of Al implanted 4H-SiC |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
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| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
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| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 政孝 / Masataka Satoh / サトウ マサタカ |
| 第1著者 所属（和/英） | 法政大学 (略称： 法政大) Hosei University (略称： Hosei Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮川 晋悟 / Shingo Miyagawa / ミヤガワ シンゴ |
| 第2著者 所属（和/英） | 法政大学 (略称： 法政大) Hosei University (略称： Hosei Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 工藤 尚宏 / Takahiro Kudoh / クドウ タカヒロ |
| 第3著者 所属（和/英） | 法政大学 (略称： 法政大) Hosei University (略称： Hosei Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 永田 翔平 / Shohei Nagata / ナガタ ショウヘイ |
| 第4著者 所属（和/英） | 法政大学 (略称： 法政大) Hosei University (略称： Hosei Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田島 卓 / Taku Tajima / タジマ タク |
| 第5著者 所属（和/英） | 法政大学 (略称： 法政大) Hosei University (略称： Hosei Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中村 徹 / Tohru Nakamura / ナカムラ トオル |
| 第6著者 所属（和/英） | 法政大学 (略称： 法政大) Hosei University (略称： Hosei Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 第18著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-06-16 11:35:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2007-45 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.95 |
| ページ範囲 | pp.75-78 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2007-06-08 (ED) |
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