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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-05-25 15:15 オンチップ集積化マイクロ磁界プローブの開発 小屋祥太・○鳥塚英樹・山口正洋（東北大）・青山 聡・川人祥二（静岡大）  EMCJ2007-15 |
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| 抄録 | （和） | 電磁障害(EMI : Electromagnetic Interference)の問題を解決するために，高周波・高空間分解能の磁界プローブの開発が強く望まれている．Si多層配線基板を用いてコイルと集積化増幅回路を組み合わせることで,コイルを小形化しても十分な出力を得られるため，空間分解能を向上させることができると考えられる．しかしメタル配線は非常に薄いため抵抗が大きい，磁束が透過する，などの問題が予想された．そこで，汎用チップ試作サービスを利用し，シールディドループコイル型集積化マイクロ磁界プローブを開発，特性を評価した結果，ほぼ満足できる性能を確認した．集積化増幅回路と組み合わせることで，数umオーダーの高空間分解能磁界プローブ開発の見通しがついた． |
| （英） | The development of high-frequency and high-spatial-resolution magnetic field probe to solve the problem of Electromagnetic Interference is strongly hoped. It is thought that an miniaturized coil will obtain enough output if it is combined with the integrated amplifier by using the Si multilayer wiring substrate, and as a result, the spatial resolution of the probe can be improved. However, the problems are expected that wiring resistance is high or magnetic flux transmits the wiring layers, because metal wiring layers are very thin. Then, almost enough performances were confirmed after the shielded loop type integrated micro magnetic field probe was developed with the general-purpose chip service and the characteristics were evaluated. The author showed the possibility of development of a magnetic field probe that has high spatial resolution of several um order if it is combined with the integrated amplifier. | |
| キーワード | （和） | チップ試作サービス / Si多層配線基板 / アクティブプローブ / シールディドループコイル / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 68, EMCJ2007-15, pp. 29-34, 2007年5月. | |
| 資料番号 | EMCJ2007-15 | |
| 発行日 | 2007-05-18 (EMCJ) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMCJ2007-15 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMCJ |
| 開催期間 | 2007-05-25 - 2007-05-25 |
| 開催地（和） | 新潟大学 |
| 開催地（英） | Niigata University |
| テーマ（和） | EMC一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EMCJ |
| 会議コード | 2007-05-EMCJ |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | オンチップ集積化マイクロ磁界プローブの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of On-Chip Integrated Micro Magnetic Field Probe |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | チップ試作サービス / |
| キーワード(2)（和/英） | Si多層配線基板 / |
| キーワード(3)（和/英） | アクティブプローブ / |
| キーワード(4)（和/英） | シールディドループコイル / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小屋 祥太 / Shota Koya / コヤ ショウタ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鳥塚 英樹 / Hideki Torizuka / トリヅカ ヒデキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山口 正洋 / Masahiro Yamaguchi / ヤマグチ マサヒロ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 青山 聡 / Satoshi Aoyama / アオヤマ サトシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 川人 祥二 / Shoji Kawahito / カワヒト ショウジ |
| 第5著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
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| 講演者 | 第2著者 |
| 発表日時 | 2007-05-25 15:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EMCJ |
| 資料番号 | EMCJ2007-15 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.68 |
| ページ範囲 | pp.29-34 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2007-05-18 (EMCJ) |
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