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講演抄録／キーワード
講演名 2007-05-25 10:40
横型反応管を用いたZnO薄膜のRPE-MOCVD成長
○安達允彦・青嶌剛嗣・中村篤志・天明二郎（静岡大）   エレソ技報アーカイブはこちら
抄録 （和） 横型反応管を用いたリモートプラズマ励起MOCVD（RPE-MOCVD）によるZnO結晶成長をa面サファイア上に行い、膜厚分布に伴う成長モード変化を明らかにした。ZnOのｃ軸方向に成長しやすいという特徴を利用して自己形成によるZnOナノロッド及びナノワイヤを作製し、基板温度、成長圧力、原料供給比を様々に変化させることで、直径11nmのナノワイヤからRMS7.2nmの薄膜まで表面形状を制御することに成功した。また、ZnO結晶の光学特性の成長温度依存性を、PL測定によって評価した。 
（英） ZnO layers growth on a-plane sapphire(11-20)substrates by sideflow remote plasma enhanced MOCVD (RPE-MOCVD)was studied. The relation between thickness distribution and growth mode was noticed. We successfully controlled growth from thin layers to nanostructures, by varying growth temperature, pressure and ?/? ratio. The growth temperature dependency of an optical property of the ZnO thin layers was characterized by photoluminescence measurement.
キーワード （和） 横型反応管 / リモートプラズマ励起MOCVD / ナノロッド / ナノワイヤ / / / /  
（英） sideflow reaction chamber / remote plasma enhanced MOCVD / nanorods / nanowires / / / /  
文献情報 信学技報
資料番号  
発行日  
ISSN  
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研究会情報
研究会 SDM ED CPM  
開催期間 2007-05-24 - 2007-05-25 
開催地（和） 静岡大学 浜松キャンパス 
開催地（英） Shizuoka Univ. 
テーマ（和） 結晶成長、評価及びデバイス（化合物、Si、SiGe、電子・光材料） 
テーマ（英）  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2007-05-SDM-ED-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル（和） 横型反応管を用いたZnO薄膜のRPE-MOCVD成長 
サブタイトル（和）  
タイトル（英） ZnO thin layer growen by sideflow RPE-MOCVD 
サブタイトル（英）  
キーワード(1)（和/英） 横型反応管 / sideflow reaction chamber  
キーワード(2)（和/英） リモートプラズマ励起MOCVD / remote plasma enhanced MOCVD  
キーワード(3)（和/英） ナノロッド / nanorods  
キーワード(4)（和/英） ナノワイヤ / nanowires  
キーワード(5)（和/英） /  
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キーワード(8)（和/英） /  
第1著者 氏名（和/英/ヨミ） 安達 允彦 / Masahiko Adachi / アダチ マサヒコ
第1著者 所属（和/英） 静岡大学 (略称： 静岡大)
Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.)
第2著者 氏名（和/英/ヨミ） 青嶌 剛嗣 / Tuyoshi Aoshima / アオシマ ツヨシ
第2著者 所属（和/英） 静岡大学 (略称： 静岡大)
Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.)
第3著者 氏名（和/英/ヨミ） 中村 篤志 / Atsushi Nakamura / ナカムラ アツシ
第3著者 所属（和/英） 静岡大学 (略称： 静岡大)
Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.)
第4著者 氏名（和/英/ヨミ） 天明 二郎 / Jiro Temmyo / テンミョウ ジロウ
第4著者 所属（和/英） 静岡大学 (略称： 静岡大)
Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2007-05-25 10:40:00 
発表時間 20分 
申込先研究会 ED 
資料番号  
巻番号（vol） vol. 
号番号（no）  
ページ範囲  
ページ数  
発行日  

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