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講演抄録/キーワード
講演名 2007-05-11 14:35
ダミーフィルが配線の高周波特性に与える影響
土谷 亮小野寺秀俊京大VLD2007-16
抄録 (和) 本稿はダミーフィルが配線特性に与える影響について議論する.
近年の微細プロセスでは,配線の疎密による配線厚さのばらつきを抑制するため,ダミーフィルが広く用いられている.
従来,ダミーフィルが配線特性に与える影響は主に配線容量について議論されてきた.
しかし,10GHzを超える領域では,ダミーフィル内に流れる渦電流が配線抵抗にも影響を与える.
本研究ではダミーフィルが配線特性に与える影響を測定する TEG を試作し,実測で評価を行なった.
測定結果より,信号配線の上下配線層のダミーフィルが配線特性に強く影響し,
周波数50GHz ではダミーフィルの影響によって配線抵抗が約20\%増加することを確認した. 
(英) This paper reports measurement results of on-chip interconnects with CMP dummy fill.
CMP dummy fill is a floating metal for metal density adjustment.
Conventionally, the effect of dummy fill on the interconnect characteristics is discussed mainly
from the viewpoint of the capacitance.
However in high frequency above 10GHz, the eddy current induced in dummy fills affects the interconnect loss.
We fabricated test structures of on-chip interconnect with dummy fills.
From the measurement results, the effect of the dummy fills on the wire resistance
is not negligible even if the ground wires are adjacent to the signal wire.
The dummy fills in the upper/lower metal layer affect the wire resistance
and the resistance increases by 20\% at 50GHz.
キーワード (和) ダミーフィル / 渦電流 / / / / / /  
(英) dummy fill / eddy current / / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 107, no. 32, VLD2007-16, pp. 55-59, 2007年5月.
資料番号 VLD2007-16 
発行日 2007-05-04 (VLD) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード VLD2007-16

研究会情報
研究会 VLD IPSJ-SLDM  
開催期間 2007-05-10 - 2007-05-11 
開催地(和) 京大会館 
開催地(英) Kyodai Kaikan 
テーマ(和) システム設計および一般 
テーマ(英) System Design, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 VLD 
会議コード 2007-05-VLD-IPSJ-SLDM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ダミーフィルが配線の高周波特性に与える影響 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Effect of Dummy Fill on High-Frequency Characteristics of On-Chip Interconnects 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) ダミーフィル / dummy fill  
キーワード(2)(和/英) 渦電流 / eddy current  
キーワード(3)(和/英) /  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 土谷 亮 / Akira Tsuchiya / ツチヤ アキラ
第1著者 所属(和/英) 京都大学 (略称: 京大)
Kyoto University (略称: Kyoto Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 小野寺 秀俊 / Hidetoshi Onodera / オノデラ ヒデトシ
第2著者 所属(和/英) 京都大学 (略称: 京大)
Kyoto University (略称: Kyoto Univ.)
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講演者
発表日時 2007-05-11 14:35:00 
発表時間 25 
申込先研究会 VLD 
資料番号 IEICE-VLD2007-16 
巻番号(vol) IEICE-107 
号番号(no) no.32 
ページ範囲 pp.55-59 
ページ数 IEICE-5 
発行日 IEICE-VLD-2007-05-04 


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