講演抄録/キーワード |
講演名 |
2006-08-25 10:05
表面波プラズマ発生装置の開発と半導体プロセスへの応用に関する研究 ○東海林春樹・福田 永・古川雅一(室蘭工大) エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2006-37 CPM2006-67 OPE2006-79 LQE2006-44 |
抄録 |
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キーワード |
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文献情報 |
信学技報, vol. 106, no. 213, CPM2006-67, pp. 67-70, 2006年8月. |
資料番号 |
CPM2006-67 |
発行日 |
2006-08-17 (EMD, CPM, OPE, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2006-37 CPM2006-67 OPE2006-79 LQE2006-44 |
研究会情報 |
研究会 |
EMD CPM LQE OPE |
開催期間 |
2006-08-24 - 2006-08-25 |
開催地(和) |
千歳アルカディア・プラザ |
開催地(英) |
Chitose Arcadia Plaza |
テーマ(和) |
光部品・電子デバイス実装技術、一般 |
テーマ(英) |
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講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
CPM |
会議コード |
2006-08-EMD-CPM-LQE-OPE |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
表面波プラズマ発生装置の開発と半導体プロセスへの応用に関する研究 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Development of Surface Wave Excitation Plasma Generation Apparatus and Application to Semiconductor Processing |
サブタイトル(英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
東海林 春樹 / Haruki Shoji / |
第1著者 所属(和/英) |
室蘭工業大学 (略称: 室蘭工大)
Muroran Institute of Technology (略称: Muroran Inst. Tech.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
福田 永 / Hisashi Fukuda / |
第2著者 所属(和/英) |
室蘭工業大学 (略称: 室蘭工大)
Muroran Institute of Technology (略称: Muroran Inst. Tech.) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
古川 雅一 / Masakazu Furukawa / |
第3著者 所属(和/英) |
室蘭工業大学 (略称: 室蘭工大)
Muroran Institute of Technology (略称: Muroran Inst. Tech.) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2006-08-25 10:05:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
CPM |
資料番号 |
EMD2006-37, CPM2006-67, OPE2006-79, LQE2006-44 |
巻番号(vol) |
vol.106 |
号番号(no) |
no.212(EMD), no.213(CPM), no.214(OPE), no.215(LQE) |
ページ範囲 |
pp.67-70 |
ページ数 |
4 |
発行日 |
2006-08-17 (EMD, CPM, OPE, LQE) |
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