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講演抄録/キーワード
講演名 2006-08-25 14:55
マイクロチャネル中に注入した微小液滴の電界駆動により動作する交叉導波路型光スイッチ ~ マイクロチャネルの製作技術とスイッチング特性 ~
池本卓司國分泰雄横浜国大エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2006-45 CPM2006-75 OPE2006-87 LQE2006-52
抄録 (和) 我々は静電力によって微小液滴を駆動する,低消費電力化に適した光導波路型光スイッチを提案および実証した.
また,このデバイス実現の重要な製作技術である,薄いカバー層を持つマイクロチャネルの形成法を,リフトオフ技術とダマシンプロセスを用いることによって実現した.
このデバイスは,交叉導波路の交点でマイクロチャネルが30度で交叉しており,そのマイクロチャネル中に注入した微小マッチングオイル液滴をマクスウェルの応力によって駆動させることで動作する.
液滴が導波路とマイクロチャネルの交叉部にある時は,光はマイクロチャネル中を直進してスルーポートに出力される.
逆に空気が導波路とマイクロチャネルの交叉部にある時には,光はマイクロチャネルの側壁で全反射され,クロスポートに出力される.
動作電圧250Vにおいて,消光比33dB,切替時間31msの動作を得た. 
(英) We propose and demonstrate an optical waveguide switch based on microfluidics driven by electrostatic force, which is suitable for low power consumption.
We developed the fabrication techniquie of microchannel with thin cover layer using the Damascene process, which is the key point of this switch.
Maxwell's stress actuates a minute droplet of liquid injected in the microchannel.

The light propagates straight through the waveguide when the droplet lies in the microchannel, while the light is completely reflected into a crossed waveguide when the droplet does not exist in the microchannel.
High extinction ratio of 33dB was obtained at the driving voltage of 250V.
The switching time was 31ms.
キーワード (和) 光スイッチ / MEMS / マイクロチャネル / ダマシンプロセス / 液滴移動 / / /  
(英) optical switch / micro-electro-mechanical system / micro-channel / Damascene process / droplet movement / / /  
文献情報 信学技報, vol. 106, no. 214, OPE2006-87, pp. 107-112, 2006年8月.
資料番号 OPE2006-87 
発行日 2006-08-17 (EMD, CPM, OPE, LQE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2006-45 CPM2006-75 OPE2006-87 LQE2006-52

研究会情報
研究会 EMD CPM LQE OPE  
開催期間 2006-08-24 - 2006-08-25 
開催地(和) 千歳アルカディア・プラザ 
開催地(英) Chitose Arcadia Plaza 
テーマ(和) 光部品・電子デバイス実装技術、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OPE 
会議コード 2006-08-EMD-CPM-LQE-OPE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) マイクロチャネル中に注入した微小液滴の電界駆動により動作する交叉導波路型光スイッチ 
サブタイトル(和) マイクロチャネルの製作技術とスイッチング特性 
タイトル(英) Optical waveguide switch based on movement of matching oil in microchannel driven by electrostatic force 
サブタイトル(英) Fabrication technology and switching characteristics 
キーワード(1)(和/英) 光スイッチ / optical switch  
キーワード(2)(和/英) MEMS / micro-electro-mechanical system  
キーワード(3)(和/英) マイクロチャネル / micro-channel  
キーワード(4)(和/英) ダマシンプロセス / Damascene process  
キーワード(5)(和/英) 液滴移動 / droplet movement  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 池本 卓司 / Takuji Ikemoto / イケモト タクジ
第1著者 所属(和/英) 横浜国立大学 (略称: 横浜国大)
Yokohama National University (略称: Yokohama Nat'l Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 國分 泰雄 / Yasuo Kokubun / Yasuo Kokubun
第2著者 所属(和/英) 横浜国立大学 (略称: 横浜国大)
Yokohama National University (略称: Yokohama Nat'l Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2006-08-25 14:55:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 OPE 
資料番号 EMD2006-45, CPM2006-75, OPE2006-87, LQE2006-52 
巻番号(vol) vol.106 
号番号(no) no.212(EMD), no.213(CPM), no.214(OPE), no.215(LQE) 
ページ範囲 pp.107-112 
ページ数
発行日 2006-08-17 (EMD, CPM, OPE, LQE) 


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