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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2006-08-18 09:00 CMOSFETのチャネル幅方向の信頼性を分離して評価するためのテスト構造 ○大曽根隆志・石井英二・森下賢幸・小椋清孝（岡山県立大）・松田敏弘・岩田栄之（富山県立大） エレソ技報アーカイブへのリンク：  SDM2006-142 ICD2006-96 |
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| 抄録 | （和） | ホットキャリアに起因するCMOSFETの信頼性がチャネル幅方向の中心付近か素子分離端近傍の何れで支配的に決定されるかを評価するために，4種類のMOSFET＜即ち，チャネル幅方向に対して一定の短い（長い）チャネル長の[A]([D]MOSFET)，中心付近と素子分離端近傍が短い（長い）及び長い（短い）チャネル長の[B]([C])MOSFET＞で構成されるテスト構造を提案し，試作した．得られた信頼性データは3種類に大別され（即ち，[A]，[B]/[C]と[D]），本CMOSFETの信頼性は中心付近と素子分離端近傍とで同等であると考えられる． |
| （英） | A test structure with four kinds of MOSFETs(i.e., [A]([D]) with a short(long) channel-length all over the channel width, [B]([C]) with the short(long) and the long(short) channel-length around the center and the both isolation-edges, respectively) was proposed to separately analyze the location where the hot-carrier-induced CMOSFET reliability is determined around the center or the isolation-edge along the channel-width. The reliability data were almost categorized into three (i.e., [A], [B]/[C] and [D]), which mean that the reliabilities are nearly the same around center or isolation-edge for the CMOSFETs. | |
| キーワード | （和） | CMOSFET / 信頼性 / LDD構造 / チャネル幅 / 素子分離 / / / |
| （英） | CMOSFET / reliability / LDD-type / channel width / isolation / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 106, no. 206, SDM2006-142, pp. 99-104, 2006年8月. | |
| 資料番号 | SDM2006-142 | |
| 発行日 | 2006-08-10 (SDM, ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2006-142 ICD2006-96 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD SDM |
| 開催期間 | 2006-08-17 - 2006-08-18 |
| 開催地（和） | 北海道大学 |
| 開催地（英） | Hokkaido University |
| テーマ（和） | VLSI回路、デバイス技術（高速、低電圧、低消費電力） <オーガナイザ：平本 俊郎（東京大学）> |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2006-08-ICD-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | CMOSFETのチャネル幅方向の信頼性を分離して評価するためのテスト構造 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Test Structure to Separately Analyze CMOSFET Reliabilities along The Channel Width |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | CMOSFET / CMOSFET |
| キーワード(2)（和/英） | 信頼性 / reliability |
| キーワード(3)（和/英） | LDD構造 / LDD-type |
| キーワード(4)（和/英） | チャネル幅 / channel width |
| キーワード(5)（和/英） | 素子分離 / isolation |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大曽根 隆志 / Takashi Ohzone / オオゾネ タカシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 岡山県立大学 (略称： 岡山県立大) Okayama Prefectural University (略称： Okayama Pref. Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石井 英二 / Eiji Ishii / イシイ エイジ |
| 第2著者 所属（和/英） | 岡山県立大学 (略称： 岡山県立大) Okayama Prefectural University (略称： Okayama Pref. Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森下 賢幸 / Takayuki Morishita / モリシタ タカユキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 岡山県立大学 (略称： 岡山県立大) Okayama Prefectural University (略称： Okayama Pref. Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小椋 清孝 / Kiyotaka Komoku / コモク キヨタカ |
| 第4著者 所属（和/英） | 岡山県立大学 (略称： 岡山県立大) Okayama Prefectural University (略称： Okayama Pref. Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松田 敏弘 / Toshihiro Matsuda / マツダ トシヒロ |
| 第5著者 所属（和/英） | 富山県立大学 (略称： 富山県立大) Toyama Prefectural University (略称： Toyama Pref. Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩田 栄之 / Hideyuki Iwata / イワタ ヒデユキ |
| 第6著者 所属（和/英） | 富山県立大学 (略称： 富山県立大) Toyama Prefectural University (略称： Toyama Pref. Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2006-08-18 09:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2006-142, ICD2006-96 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | no.206(SDM), no.207(ICD) |
| ページ範囲 | pp.99-104 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2006-08-10 (SDM, ICD) |
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