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| 講演名 | 2006-08-17 13:30 ［特別招待講演］SOI技術による7.5μｍ厚、0.15ｍｍ角RFIDチップの開発 ○宇佐美光雄（日立） エレソ技報アーカイブへのリンク：  SDM2006-133 ICD2006-87 |
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| 抄録 | （和） | 0.18µm CMOS SOI技術による7.5µm厚で,0.15mm角のRFIDチップを開発した．動作キャリア周波数は2.45GHzで通信距離は480mmである．SOI技術を用いると,埋め込み酸化膜層を薄型加工時のエッチングストッパーとして使用することができる．RFIDアンテナはチップ両面電極構造によりチップに接続される． |
| （英） | This paper presents a newly developed radio frequency identification (RFID) chip that is ultra-thin (7.5µm) and ultra-small (0.15mm x 0.15mm) and is fabricated with 0.18µm SOI CMOS technology to reduce device cost and increase mechanical stress endurance. The operation carrier frequency is 2.45GHz and the communication distance was 480mm. The chip is thinned precisely by using an SOI buried oxide layer structure as an etch stop. An RFID antenna is connected to the chip by using a double-surface electrode. | |
| キーワード | （和） | CMOS / SOI技術 / RFID / 両面電極構造 / / / / |
| （英） | CMOS / SOI Technology / RFID / Double-Surface Electrode / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 106, no. 207, ICD2006-87, pp. 47-50, 2006年8月. | |
| 資料番号 | ICD2006-87 | |
| 発行日 | 2006-08-10 (SDM, ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2006-133 ICD2006-87 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD SDM |
| 開催期間 | 2006-08-17 - 2006-08-18 |
| 開催地（和） | 北海道大学 |
| 開催地（英） | Hokkaido University |
| テーマ（和） | VLSI回路、デバイス技術（高速、低電圧、低消費電力） <オーガナイザ：平本 俊郎（東京大学）> |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ICD |
| 会議コード | 2006-08-ICD-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | SOI技術による7.5μｍ厚、0.15ｍｍ角RFIDチップの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of SOI-Based 7.5μm-Thick 0.15x0.15mm2 RFID Chip |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | CMOS / CMOS |
| キーワード(2)（和/英） | SOI技術 / SOI Technology |
| キーワード(3)（和/英） | RFID / RFID |
| キーワード(4)（和/英） | 両面電極構造 / Double-Surface Electrode |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宇佐美 光雄 / Mitsuo Usami / ウサミ ミツオ |
| 第1著者 所属（和/英） | （株）日立製作所 (略称： 日立) Hitachi, Ltd. (略称： Hitachi) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2006-08-17 13:30:00 |
| 発表時間 | 50分 |
| 申込先研究会 | ICD |
| 資料番号 | SDM2006-133, ICD2006-87 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | no.206(SDM), no.207(ICD) |
| ページ範囲 | pp.47-50 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2006-08-10 (SDM, ICD) |
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