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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2006-08-07 15:50 プラズマアシスト電子ビーム蒸着法によるＴｉＯ２薄膜の高速成膜 ○星 陽一・川口茂利・神谷 攻（東京工芸大）・清水英彦（新潟大） エレソ技報アーカイブへのリンク：  CPM2006-45 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 106, no. 203, CPM2006-45, pp. 25-29, 2006年8月. | |
| 資料番号 | CPM2006-45 | |
| 発行日 | 2006-07-31 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2006-45 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2006-08-07 - 2006-08-08 |
| 開催地（和） | 岩手大学 |
| 開催地（英） | Iwate Univ. |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | Electronic Component Parts and Materials, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2006-08-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | プラズマアシスト電子ビーム蒸着法によるＴｉＯ２薄膜の高速成膜 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High Rate deposition of TiO2 thin films by plasma assisted electron beam evaporation |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
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| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 星 陽一 / Yoichi Hoshi / ホシ ヨプイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京工芸大学 (略称： 東京工芸大) Ｔｏｋｙｏ Ｐｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ (略称： Ｔｏｋｙｏ Ｐｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃ Ｕｎｉｖ．) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 川口 茂利 / Ｓｈｉｇｅｔｏｓｈｉ Ｋａｗａｇｕｃｈｉ / カワグチ シゲトシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京工芸大学 (略称： 東京工芸大) Ｔｏｋｙｏ Ｐｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ (略称： Ｔｏｋｙｏ Ｐｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃ Ｕｎｉｖ．) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 神谷 攻 / Osamu Kamiya / カミヤ オサム |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京工芸大学 (略称： 東京工芸大) Ｔｏｋｙｏ Ｐｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ (略称： Ｔｏｋｙｏ Ｐｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃ Ｕｎｉｖ．) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 英彦 / Hidehiko Shimizu / シミズ ヒデヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Ｎｉｉｇａｔａ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ (略称： Ｎｉｉｇａｔａ Ｕｎｉｖ．) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2006-08-07 15:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2006-45 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | no.203 |
| ページ範囲 | pp.25-29 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2006-07-31 (CPM) |
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