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講演抄録/キーワード
講演名 2006-06-30 10:10
In situ赤外分光測定による蒸着重合薄膜の構造解析に関する研究
仲尾建治田中邦明臼井博明東京農工大エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2006-5 CPM2006-29 OME2006-39
抄録 (和) アクリル酸亜鉛(ZA)及び長鎖フッ化アクリレート(EFUA)モノマーを電子照射蒸着することによって高分子薄膜を作製し、膜成長過程及び薄膜の安定性を調べるために赤外反射分光法によるその場観察を行った。ZAの製膜では、蒸着時の電子照射によって重合が促進されること、さらに重合は蒸着の初期段階から生じていることが明らかになった。ZAの真空蒸着膜を製膜後に加熱すると、固相重合と再蒸発が同時に進行した。これに対して電子線照射蒸着を行うと、製膜後の加熱によってほとんど変化せず、再蒸発もしない安定な薄膜が得られた。EFUAの単独蒸着では、基板を冷却しなければ膜が堆積しなかった。これに対してZAとEFUAを共蒸着し、ZAのみに電子線照射を行うと、より高い基板温度でも製膜が可能となり、架橋構造を持つ安定なフッ素系高分子薄膜が得られた。 
(英) Polymeric thin films were obtained by electron-assisted deposition of zinc acrylate (ZA) and fluorinated alkyl acrylate (EFUA) monomers. The film growth process and thermal stability of the films were analyzed by using in-situ IR analysis. It was found that the polymerization reaction can be enhanced by electron irradiation in the course of deposition. The polymerization was achieved from the initial stage of film growth. The electron-assisted deposition of ZA produced polymeric films that was not affected by post-deposition annealing in vacuum. On the other hand, the conventionally evaporated ZA film underwent solid phase polymerization and reevaporation by the post-deposition annealing. EFUA polymer films were prepared by the electron-assisted deposition only when the substrate temperature was cooled to subfreezing temperature, while co-evaporation of ZA and EFUA enabled formation of polymer films without cooling the substrate.
キーワード (和) 蒸着重合 / 共蒸着 / アクリル酸亜鉛 / フッ化アルキルアクリレート / その場赤外分光 / / /  
(英) deposition polymerization / co-deposition / zinc-acrylate / fluoro-alkyl acrylate / in-situ IR analysis / / /  
文献情報 信学技報, vol. 106, no. 132, OME2006-39, pp. 1-6, 2006年6月.
資料番号 OME2006-39 
発行日 2006-06-23 (EMD, CPM, OME) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード エレソ技報アーカイブへのリンク:EMD2006-5 CPM2006-29 OME2006-39

研究会情報
研究会 CPM EMD OME  
開催期間 2006-06-30 - 2006-06-30 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 圧電デバイス・材料、強誘電体材料,有機エレクトロニクス、一般(材料デバイスサマーミーティング) 
テーマ(英) Piezoelectric Devices, Piezoelectric Materials, Ferroelectric Materials, Organic Electronics, etc. (ES Summer Meeting of Materials and Devices) 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OME 
会議コード 2006-06-CPM-EMD-OME 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) In situ赤外分光測定による蒸着重合薄膜の構造解析に関する研究 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) In-situ IR observation of film fromation process by deposition polymerization 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 蒸着重合 / deposition polymerization  
キーワード(2)(和/英) 共蒸着 / co-deposition  
キーワード(3)(和/英) アクリル酸亜鉛 / zinc-acrylate  
キーワード(4)(和/英) フッ化アルキルアクリレート / fluoro-alkyl acrylate  
キーワード(5)(和/英) その場赤外分光 / in-situ IR analysis  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 仲尾 建治 / Kenji Nakao / ナカオ ケンジ
第1著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agri. & Technol.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 田中 邦明 / Kuniaki Tanaka / タナカ クニアキ
第2著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agri. & Technol.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 臼井 博明 / Hiroaki Usui / ウスイ ヒロアキ
第3著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agri. & Technol.)
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講演者
発表日時 2006-06-30 10:10:00 
発表時間 25 
申込先研究会 OME 
資料番号 IEICE-EMD2006-5,IEICE-CPM2006-29,IEICE-OME2006-39 
巻番号(vol) IEICE-106 
号番号(no) no.130(EMD), no.131(CPM), no.132(OME) 
ページ範囲 pp.1-6 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-EMD-2006-06-23,IEICE-CPM-2006-06-23,IEICE-OME-2006-06-23 


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