講演抄録/キーワード |
講演名 |
2006-05-19 09:00
m面SiC基板上に成長したⅢ族窒化物半導体薄膜の微細構造観察 ○永井哲也・川島毅士・仲野靖孝・井村将隆・岩谷素顕・上山 智・天野 浩・赤崎 勇(名城大) エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2006-29 CPM2006-16 SDM2006-29 |
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キーワード |
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文献情報 |
信学技報, vol. 106, no. 46, CPM2006-16, pp. 51-54, 2006年5月. |
資料番号 |
CPM2006-16 |
発行日 |
2006-05-11 (ED, CPM, SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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