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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2006-04-21 13:25 MEMSアクチュエータアレイを用いた機械式光通信用可変利得等化器 ○熊ヶ谷育生・木下暢人・小西 聡（立命館大）・佐野知己・片山 誠（住友電工） エレソ技報アーカイブへのリンク：  CPM2006-2 OPE2006-2 |
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| 抄録 | （和） | 次世代フォトニックネットワーク技術として期待されている波長多重（Wavelength Division Multiplex, WDM）伝送システムで用いられるエルビウム添加ファイバアンプ(Erbium-Doped Fiber Amplifier, EDFA)は不均一な利得特性を有する。この利得特性を均一化するために可変利得等化器(Dynamic Gain EQualizar, DGEQ)の利用が考えられている。本研究では高分解能、大変位、並列動作が可能なMEMSアクチュエータアレイを用いた機械式DGEQの研究を進めている。バッチプロセスによって製作した8本のスライダアレイ（単一スライダ幅600μｍ）の並列動作による、8チャネルの独立損失スペクトル制御について報告する。 |
| （英） | This paper reports MEMS based mechanical dynamic gain equalizer (hereafter DGEQ) which is expected to equalize non-uniformities of spectral intensity in WDM transportation. Batch-fabricated multi sliders for DGEQ are presented as optical application of electrostatic controlled linear inchworm actuator (hereafter ECLIA). 8 multi sliders (600 μm wide) corresponding to 8 channels are fabricated by DRIE and bonded on a pyrex glass substrate for a reliable electrical isolation. Operating of developed multi sliders and their optical attenuation as DGEQ will be reported in succession to design and fabrication of device. | |
| キーワード | （和） | ECLIA / 可変利得等化器 / スライダアレイ / 一括製作 / 並列動作 / 波長多重伝送システム / / |
| （英） | ECLIA / DGEQ / Arrayed sliders / Batch fabrication / Parallel motion / WDM / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 106, no. 19, OPE2006-2, pp. 7-12, 2006年4月. | |
| 資料番号 | OPE2006-2 | |
| 発行日 | 2006-04-14 (R, CPM, OPE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2006-2 OPE2006-2 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | R CPM OPE |
| 開催期間 | 2006-04-21 - 2006-04-21 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 光部品の実装・信頼性、一般 |
| テーマ（英） | Packaging and reliability of optical componetns, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2006-04-R-CPM-OPE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | MEMSアクチュエータアレイを用いた機械式光通信用可変利得等化器 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Mechanical Dynamic Gain Equalizer using MEMS Actuator Array |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ECLIA / ECLIA |
| キーワード(2)（和/英） | 可変利得等化器 / DGEQ |
| キーワード(3)（和/英） | スライダアレイ / Arrayed sliders |
| キーワード(4)（和/英） | 一括製作 / Batch fabrication |
| キーワード(5)（和/英） | 並列動作 / Parallel motion |
| キーワード(6)（和/英） | 波長多重伝送システム / WDM |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 熊ヶ谷 育生 / Ikuo Kumagaya / クマガヤ イクオ |
| 第1著者 所属（和/英） | 立命館大学 (略称： 立命館大) Ritsumeikan University (略称： Rits) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 木下 暢人 / Nobihito Kinoshita / キノシタ ノブヒト |
| 第2著者 所属（和/英） | 立命館大学 (略称： 立命館大) Ritsumeikan University (略称： Rits) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小西 聡 / Satoshi Konishi / コニシ サトシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 立命館大学 (略称： 立命館大) Ritsumeikan University (略称： Rits) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐野 知己 / Tomomi Sano / サノ トモミ |
| 第4著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 (略称： 住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称： SEI) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 片山 誠 / Makoto Katayama / カタヤマ マコト |
| 第5著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社 (略称： 住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称： SEI) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2006-04-21 13:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | R2006-2, CPM2006-2, OPE2006-2 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | no.17(R), no.18(CPM), no.19(OPE) |
| ページ範囲 | pp.7-12 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2006-04-14 (R, CPM, OPE) |
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