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講演抄録/キーワード
講演名 2006-04-21 14:55
4インチ・ウエハプロセスによるDVD記録装置用高出力レーザ
住友弘幸梶山 訓小栗裕之坂下 武堂本新一中尾健誠山本 達駒谷 務川久保弘史小野将徳前島俊昭和泉茂一ユーディナデバイスエレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2006-5 OPE2006-5
抄録 (和) 今回我々は,4インチウエハ量産プロセスによる650nm帯単一横モード高出力レーザの作製に世界で初めて成功した.4インチ化において,4インチ導電性GaAs基板の結晶品質がレーザ特性に大きく影響することを確認した.また,電子デバイスで実績のあるプロセスを適用することにより,高精度かつ面内高均一なウエハプロセスを確立し,高いスループットでの高出力且つ高信頼度なレーザの製造を実現した.作製したレーザ素子は,4インチウエハ面内での分布(標準偏差/平均値)はしきい値Ithで±2.3 %,効率で±1.1 %に抑えられている.350mW以上の高光出力は,600mA以下の駆動電流値で実現されており,80℃の高温においてもキンクフリーで良好な光出力特性を示している.また,リッジ形状の最適化および素子抵抗の低減によって,350mWにおける駆動電圧を3.0V程度に抑え,低消費電力なレーザを実現した.本レーザは,2層DVD±R/RWディスクへの8倍速以上の記録型DVD装置に適用可能と考えられる. 
(英) We have successfully fabricated 650-nm band single lateral-mode high-power laser diodes (LDs) by using the 4-inch full-wafer process technology. We realized the high throughput LD production with high-power and reliable performances. The LD characteristics show excellent uniformity over a 88mm diameter area of the 4-inch wafer, e.g. (standard deviation/average) = ±2.3 % for Ith, and ±1.1 % for slope efficiency. The output power more than 350 mW had been obtained with stable lateral mode operation under the operation current 600 mA even at the high temperature 80 ℃. In addition, the operation voltage had been suppressed around 3.0 V even at high power operation by optimizing the ridge formation process and reducing the series resistance. These results confer the promising way to realize the high-speed (over 8×) dual layer recordable DVD systems.
キーワード (和) 半導体レーザ / 4インチ / 高出力 / DVD / AlGaInP / / /  
(英) Laser Diode / 4 inch / High Power / DVD / AlGaInP / / /  
文献情報 信学技報, vol. 106, no. 17, R2006-5, pp. 23-28, 2006年4月.
資料番号 R2006-5 
発行日 2006-04-14 (R, CPM, OPE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2006-5 OPE2006-5

研究会情報
研究会 R CPM OPE  
開催期間 2006-04-21 - 2006-04-21 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 光部品の実装・信頼性、一般 
テーマ(英) Packaging and reliability of optical componetns, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 R 
会議コード 2006-04-R-CPM-OPE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 4インチ・ウエハプロセスによるDVD記録装置用高出力レーザ 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) High-Power Laser Diodes for DVD-R/RW/RAM by 4-inch Full-Wafer Process Technology 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 半導体レーザ / Laser Diode  
キーワード(2)(和/英) 4インチ / 4 inch  
キーワード(3)(和/英) 高出力 / High Power  
キーワード(4)(和/英) DVD / DVD  
キーワード(5)(和/英) AlGaInP / AlGaInP  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 住友 弘幸 / Hiroyuki Sumitomo / スミトモ ヒロユキ
第1著者 所属(和/英) ユーディナデバイス (略称: ユーディナデバイス)
Eudyna Devices Inc. (略称: EUD)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 梶山 訓 / Satoshi Kajiyama / カジヤマ サトシ
第2著者 所属(和/英) ユーディナデバイス (略称: ユーディナデバイス)
Eudyna Devices Inc. (略称: EUD)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 小栗 裕之 / Hiroyuki Oguri / オグリ ヒロユキ
第3著者 所属(和/英) ユーディナデバイス (略称: ユーディナデバイス)
Eudyna Devices Inc. (略称: EUD)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 坂下 武 / Takeshi Sakashita / サカシタ タケシ
第4著者 所属(和/英) ユーディナデバイス (略称: ユーディナデバイス)
Eudyna Devices Inc. (略称: EUD)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 堂本 新一 / Shinichi Domoto / ドウモト シンイチ
第5著者 所属(和/英) ユーディナデバイス (略称: ユーディナデバイス)
Eudyna Devices Inc. (略称: EUD)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 中尾 健誠 / Kensei Nakao / ナカオ ケンセイ
第6著者 所属(和/英) ユーディナデバイス (略称: ユーディナデバイス)
Eudyna Devices Inc. (略称: EUD)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 山本 達 / Toru Yamamoto / ヤマモト トオル
第7著者 所属(和/英) ユーディナデバイス (略称: ユーディナデバイス)
Eudyna Devices Inc. (略称: EUD)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 駒谷 務 / Tutomu Komatani / コマタニ ツトム
第8著者 所属(和/英) ユーディナデバイス (略称: ユーディナデバイス)
Eudyna Devices Inc. (略称: EUD)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 川久保 弘史 / Hiroshi Kawakubo / カワクボ ヒロシ
第9著者 所属(和/英) ユーディナデバイス (略称: ユーディナデバイス)
Eudyna Devices Inc. (略称: EUD)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 小野 将徳 / Masanori Ono / オノ マサノリ
第10著者 所属(和/英) ユーディナデバイス (略称: ユーディナデバイス)
Eudyna Devices Inc. (略称: EUD)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 前島 俊昭 / Toshiaki Maejima / マエジマ トシアキ
第11著者 所属(和/英) ユーディナデバイス (略称: ユーディナデバイス)
Eudyna Devices Inc. (略称: EUD)
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) 和泉 茂一 / Shigekazu Izumi / イズミ シゲカズ
第12著者 所属(和/英) ユーディナデバイス (略称: ユーディナデバイス)
Eudyna Devices Inc. (略称: EUD)
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講演者
発表日時 2006-04-21 14:55:00 
発表時間 25 
申込先研究会 R 
資料番号 IEICE-R2006-5,IEICE-CPM2006-5,IEICE-OPE2006-5 
巻番号(vol) IEICE-106 
号番号(no) no.17(R), no.18(CPM), no.19(OPE) 
ページ範囲 pp.23-28 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-R-2006-04-14,IEICE-CPM-2006-04-14,IEICE-OPE-2006-04-14 


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