| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2006-02-17 11:10
圧電アクチュエータ駆動用高周波インバータの動作特性
○柏木健吾（九大）・鄭 穎楠（燕山大）・藤田秀朗（協進設計）・二宮 保（九大） |
| 抄録 |
（和） |
現在、超音波技術は様々な分野で幅広く利用されている。特に、半導体市場においては、圧電振動子を用いた大容量精密金属溶接器、半導体ウェーハ高周波洗浄器などへの要求が高まっている。しかし、これらの圧電振動子の駆動方式の諸特性については解明されていない点も多い。
本稿では、圧電振動子の駆動回路方式として今回は高調波成分の少ない出力波形を得ることができる3レベル高周波インバータ回路を採用して、負荷電流のTHDと効率からフルブリッジ回路との比較を実験による結果から報告する。 |
| （英） |
The supersonic wave technology is widely used in various fields. Especially, in the field of semiconductor manufacturing process, the piezoelectric devices are required for a precisely controlled metallic welding machine and a high-frequency-controlled washing machine of semiconductor wafers, etc. On the other hand, the detailed characteristics of the driving circuits have not been clarified yet. This paper focuses the driving circuit using a high-frequency inverter, and presents the comparison of two circuit topologies, such as a three-level inverter and a full-bridge inverter with a series-resonant circuit. Experimental results of the total harmonic distortion of output voltage and the power efficiency are compared. |
| キーワード |
（和） |
圧電振動子 / 3レベル高周波インバータ回路 / / フルブリッジ回路 / / / / |
| （英） |
Piezoelectric devices / Full-bridge circuit / High-frequency inverter circuit by three mat wave / / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 105, no. 601, EE2005-74, pp. 79-83, 2006年2月. |
| 資料番号 |
EE2005-74 |
| 発行日 |
2006-02-09 (EE) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
| PDFダウンロード |
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| 研究会情報 |
| 研究会 |
EE |
| 開催期間 |
2006-02-16 - 2006-02-17 |
| 開催地（和） |
崇城大学 |
| 開催地（英） |
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| テーマ（和） |
回路技術関連、一般 |
| テーマ（英） |
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| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
EE |
| 会議コード |
2006-02-EE |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
圧電アクチュエータ駆動用高周波インバータの動作特性 |
| サブタイトル（和） |
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| タイトル（英） |
Steady-State Charactiristics of High-Frequency Inverters for Piezoelectric Actuators |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
圧電振動子 / Piezoelectric devices |
| キーワード(2)（和/英） |
3レベル高周波インバータ回路 / Full-bridge circuit |
| キーワード(3)（和/英） |
/ High-frequency inverter circuit by three mat wave |
| キーワード(4)（和/英） |
フルブリッジ回路 / |
| キーワード(5)（和/英） |
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| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
柏木 健吾 / Kengo Kashiwagi / カシワギ ケンゴ |
| 第1著者 所属（和/英） |
九州大学 (略称： 九大)
Kyushu University (略称： Kyushu Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
鄭 穎楠 / Einan Tei / テイ エイナン |
| 第2著者 所属（和/英） |
燕山大学 (略称： 燕山大)
Enzan University (略称： Enzan Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
藤田 秀朗 / Hideaki Hujita / フジタ ヒデアキ |
| 第3著者 所属（和/英） |
（株）協進設計 (略称： 協進設計)
Kyousin Design (略称： kyousin) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
二宮 保 / Tamotsu Ninomiya / ニノミヤ タモツ |
| 第4著者 所属（和/英） |
九州大学 (略称： 九大)
Kyushu University (略称： Kyushu Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第20著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2006-02-17 11:10:00 |
| 発表時間 |
25分 |
| 申込先研究会 |
EE |
| 資料番号 |
EE2005-74 |
| 巻番号（vol） |
vol.105 |
| 号番号（no） |
no.601 |
| ページ範囲 |
pp.79-83 |
| ページ数 |
5 |
| 発行日 |
2006-02-09 (EE) |