| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2006-01-26 14:50
2層シリコンウェハパッチアンテナ
○古閑洋子・吉田幸久・山下 彰・濱口恒夫・西澤一史・田口元久・西野 有・宮下裕章・牧野 滋（三菱電機） |
| 抄録 |
（和） |
本稿では，キャビティを有する，シリコンウェハを2層積層した構造を特徴とするパッチアンテナを提案する． 2層各層に設けるキャビティの深さをそれぞれ独立に調整できるため，等価比誘電率の調整に自由度があり，更に，本アンテナの広帯域特性を数値解析にて確認したことを示す．また，提案するアンテナをMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術により作製するために開発したプロセスについて述べ，実際にミリ波帯で試作した本アンテナの測定結果を示し，反射特性，放射パターンおよび利得の計算値と実測値とが，概ね一致したことを示す． |
| （英） |
In this paper, we propose cavity-backed patch antennas on double-layer silicon wafers. The proposed antenna has flexibility for choice of equivalent dielectric constant, because a cavity depth can be adjusted one by one. In addition, a wide bandwidth characteristic has been verified by computer simulations. The established MEMS process and experimental results of this antenna at millimeter wave have also been presented. Measured return-loss characteristics, radiation patterns and gain have been generally agreed well with simulation results. |
| キーワード |
（和） |
MEMS / キャビティ / パッチアンテナ / シリコンウェハ / 積層 / / / |
| （英） |
MEMS / Cavity / Patch antennas / Silicon wafer / Layer stuck / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 105, no. 561, AP2005-140, pp. 45-48, 2006年1月. |
| 資料番号 |
AP2005-140 |
| 発行日 |
2006-01-19 (AP) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
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