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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2005-11-25 10:50 ［招待講演］有機ELディスプレイ用水蒸気バリア膜の形成 ～ 低温触媒CVD装置の開発 ～ ○部家 彰（兵庫県立大）・南川俊治（石川工試）・仁木敏一・南 茂平（石川製作所）・増田 淳・梅本宏信（北陸先端大）・松尾直人（兵庫県立大）・松村英樹（北陸先端大） エレソ技報アーカイブへのリンク：  ED2005-174 SDM2005-193 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | 有機ELディスプレイ / 保護膜 / 窒化シリコン / 触媒CVD法 / 低温 / / / |
| （英） | Organic light-emitting diode display / Barrier film / SiNx / Caralytic chemical vapor deposition / Low temperature / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 105, no. 434, R2005-39, pp. 7-12, 2005年11月. | |
| 資料番号 | R2005-39 | |
| 発行日 | 2005-11-18 (R, ED, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2005-174 SDM2005-193 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | R ED SDM |
| 開催期間 | 2005-11-25 - 2005-11-25 |
| 開催地（和） | 中央電気倶楽部 |
| 開催地（英） | Central Electric Club |
| テーマ（和） | 半導体表面・界面制御と電子デバイスの信頼性，信頼性一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | R |
| 会議コード | 2005-11-R-ED-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 有機ELディスプレイ用水蒸気バリア膜の形成 |
| サブタイトル（和） | 低温触媒CVD装置の開発 |
| タイトル（英） | Barrier films prepared for organic electroluminescence device |
| サブタイトル（英） | * |
| キーワード(1)（和/英） | 有機ELディスプレイ / Organic light-emitting diode display |
| キーワード(2)（和/英） | 保護膜 / Barrier film |
| キーワード(3)（和/英） | 窒化シリコン / SiNx |
| キーワード(4)（和/英） | 触媒CVD法 / Caralytic chemical vapor deposition |
| キーワード(5)（和/英） | 低温 / Low temperature |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 部家 彰 / Akira Heya / ヘヤ アキラ |
| 第1著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 南川 俊治 / Toshiharu Minami / ミナミカワ トシハル |
| 第2著者 所属（和/英） | 石川県工業試験場 (略称： 石川工試) Industrial Reserch Institute of Ishikawa (略称： IRII) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 仁木 敏一 / Toshikazu Niki / ニキ トシカズ |
| 第3著者 所属（和/英） | 石川製作所 (略称： 石川製作所) Ishikawa Seisakusyo (略称： Ishikawa Seisakusyo) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 南 茂平 / Shigehira Minami / ミナミ シゲヒラ |
| 第4著者 所属（和/英） | 石川製作所 (略称： 石川製作所) Ishikawa Seisakusyo (略称： Ishikawa Seisakusyo) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 増田 淳 / Atsushi Masuda / マスダ アツシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 北陸先端科学技術大学院大学 (略称： 北陸先端大) Japan Advanced Institute of Science and Technology (略称： JAIST) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 梅本 宏信 / Hironobu Umemoto / ウメモト ヒロノブ |
| 第6著者 所属（和/英） | 北陸先端科学技術大学院大学 (略称： 北陸先端大) Japan Advanced Institute of Science and Technology (略称： JAIST) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松尾 直人 / Naoto Matsuo / マツオ ナオト |
| 第7著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松村 英樹 / Hideki Matsumura / マツムラ ヒデキ |
| 第8著者 所属（和/英） | 北陸先端科学技術大学院大学 (略称： 北陸先端大) Japan Advanced Institute of Science and Technology (略称： JAIST) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2005-11-25 10:50:00 |
| 発表時間 | 40分 |
| 申込先研究会 | R |
| 資料番号 | R2005-39, ED2005-174, SDM2005-193 |
| 巻番号（vol） | vol.105 |
| 号番号（no） | no.434(R), no.435(ED), no.436(SDM) |
| ページ範囲 | pp.7-12 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2005-11-18 (R, ED, SDM) |
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