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講演抄録/キーワード
講演名 2005-11-11 13:55
同時スパッタプリカーサを用いたCZTS薄膜太陽電池
木村亮一神保和夫上村 剛山田 覚ウィン シュウ マウ片桐裕則長岡高専エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2005-153
抄録 (和) 汎用材料だけで構成できるCu2ZnSnS4を用いて環境調和型CZTS系薄膜太陽電池を作製し、評価を行った。CZTSの作製には、三源同時スパッタ法、硫化法の二段階作製法を用いた。従来は、それぞれ別の装置を用いていため、サンプルを一度大気中に暴露することによる影響が懸念された。そこで、真空プロセスによるインライン型の装置を用いて、高品質CZTS薄膜を作製した。本報告では、CZTS薄膜の組成を詳細に分析するため、ICP組成分析を用いた。それを元にCu-poor、Zn-richのプリカーサを用いて硫化温度の検討を行った。その結果、595℃の硫化温度においてセル変換効率3.46%が得られた。 
(英) The low cost, environmental harmless Cu2ZnSnS4 (CZTS) type thin film solar cells are fabricated by using abundant materials. In this study, three RF sources co-sputtering continued with annealing in sulfurized atmosphere method is utilized. In our previous work, the functions of making precursor and annealing were sequentially done in different apparatus. At that time, the precursor had to be exposed to the outside atmosphere and encountered the moisture adhesion. Therefore, inline type film making apparatus is utilized to accomplish the better quality of solar cell in this study. In order to investigate the composition ratio of CZTS precisely, Inductively Coupled Plasma Spectroscopy (ICPS) analysis is performed. Then the sulfurization temperature is examined by using Cu-poor and Zn-rich precursor result. The conversion efficiency of 3.46% is obtained at sulfurization temperature of 595℃.
キーワード (和) Cu2ZnSnS4 / 硫化温度 / ICP分析 / インライン型製膜装置 / / / /  
(英) Cu2ZnSnS4 / sulfurization temperature / ICPS analysis / Inline type film making apparatus / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 105, no. 393, CPM2005-153, pp. 7-12, 2005年11月.
資料番号 CPM2005-153 
発行日 2005-11-04 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2005-153

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2005-11-11 - 2005-11-12 
開催地(和) 福井大学 
開催地(英)  
テーマ(和) 薄膜プロセス・材料、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2005-11-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 同時スパッタプリカーサを用いたCZTS薄膜太陽電池 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) CZTS thin film solar cells using co-sputtered precursors 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) Cu2ZnSnS4 / Cu2ZnSnS4  
キーワード(2)(和/英) 硫化温度 / sulfurization temperature  
キーワード(3)(和/英) ICP分析 / ICPS analysis  
キーワード(4)(和/英) インライン型製膜装置 / Inline type film making apparatus  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 木村 亮一 / Ryouichi Kimura / キムラ リョウイチ
第1著者 所属(和/英) 長岡工業高等専門学校 (略称: 長岡高専)
Nagaoka National College of Technology (略称: Nagaoka National College of Tech.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 神保 和夫 / Kazuo Jimbo / ジンボ カズオ
第2著者 所属(和/英) 長岡工業高等専門学校 (略称: 長岡高専)
Nagaoka National College of Technology (略称: Nagaoka National College of Tech.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 上村 剛 / Tsuyoshi Kamimura / カミムラ ツヨシ
第3著者 所属(和/英) 長岡工業高等専門学校 (略称: 長岡高専)
Nagaoka National College of Technology (略称: Nagaoka National College of Tech.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 山田 覚 / Satoru Yamada / ヤマダ サトル
第4著者 所属(和/英) 長岡工業高等専門学校 (略称: 長岡高専)
Nagaoka National College of Technology (略称: Nagaoka National College of Tech.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) ウィン シュウ マウ / Win Shwe Maw / ウィン シュウ マウ
第5著者 所属(和/英) 長岡工業高等専門学校 (略称: 長岡高専)
Nagaoka National College of Technology (略称: Nagaoka National College of Tech.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 片桐 裕則 / Hironori Katagiri / カタギリ ヒロノリ
第6著者 所属(和/英) 長岡工業高等専門学校 (略称: 長岡高専)
Nagaoka National College of Technology (略称: Nagaoka National College of Tech.)
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講演者
発表日時 2005-11-11 13:55:00 
発表時間 25 
申込先研究会 CPM 
資料番号 IEICE-CPM2005-153 
巻番号(vol) IEICE-105 
号番号(no) no.393 
ページ範囲 pp.7-12 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-CPM-2005-11-04 


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