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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2005-01-28 16:15 65nm時代以降のSoCデバイステスト技術 ～ Low-k/Cu配線技術対応の試験および解析手法 ～ ○山崎 眞・古川靖夫（アドバンテスト） エレソ技報アーカイブへのリンク：  CPM2004-173 ICD2004-218 |
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| 抄録 | （和） | 高性能化するSoCデバイスにおける歩留まり向上とテスト品質の確保という課題を両立するため、デバイス毎に試験条件を最適化するアダプティブ・テストが提唱されている。このアダプティブ・テストに要求される新しいATE(Automatic Test Equipment)の構造を示した。その応用例として、今後65nmノード以降、主流になると言われている低誘電率膜と銅配線(low-k/Cu)における新たな不良モードを試験するアダプティブ・テスト試験手法を0.18μmプロセスのATE用LSIを用いて検討した。 |
| （英） | To solve the problems such as the yield improvements and securing the test quality in the SoC devices made efficient, the adaptive test methodology that optimizes the test condition of each device is already proposed. The structure of new ATE(Automatic Test Equipment) ideas from this adaptive test was shown. A new failure mode will be proposed on low-k/Cu interconnection system that is one of a major steam on beyond 65nm node process. And a new test methodology will be discussed in the actual 0.18um-node ATE LSI. | |
| キーワード | （和） | ATE / Test / 低誘電率膜 / 銅配線 / リング発振器 / 配線技術 / ITRS / |
| （英） | ATE / Test / low-k/Cu / Ring-Oscillator / Interconnect technology / ITRS / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 104, no. 629, ICD2004-218, pp. 65-70, 2005年1月. | |
| 資料番号 | ICD2004-218 | |
| 発行日 | 2005-01-21 (CPM, ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2004-173 ICD2004-218 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD CPM |
| 開催期間 | 2005-01-27 - 2005-01-28 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術、テスト実装、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ICD |
| 会議コード | 2005-01-ICD-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 65nm時代以降のSoCデバイステスト技術 |
| サブタイトル（和） | Low-k/Cu配線技術対応の試験および解析手法 |
| タイトル（英） | New SoC Testing technologies for beyond 65nm process rule |
| サブタイトル（英） | New Failure Analysis and Testing methodologies for low-k/Cu Interconnect technique |
| キーワード(1)（和/英） | ATE / ATE |
| キーワード(2)（和/英） | Test / Test |
| キーワード(3)（和/英） | 低誘電率膜 / low-k/Cu |
| キーワード(4)（和/英） | 銅配線 / Ring-Oscillator |
| キーワード(5)（和/英） | リング発振器 / Interconnect technology |
| キーワード(6)（和/英） | 配線技術 / ITRS |
| キーワード(7)（和/英） | ITRS / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山崎 眞 / Makoto Yamazaki / ヤマザキ マコト |
| 第1著者 所属（和/英） | （株）アドバンテスト (略称： アドバンテスト) ADVANEST Corporation (略称： ADVANTEST) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 古川 靖夫 / Yasuo Furukawa / |
| 第2著者 所属（和/英） | （株）アドバンテスト (略称： アドバンテスト) ADVANEST Corporation (略称： ADVANTEST) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2005-01-28 16:15:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | ICD |
| 資料番号 | CPM2004-173, ICD2004-218 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | no.627(CPM), no.629(ICD) |
| ページ範囲 | pp.65-70 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2005-01-21 (CPM, ICD) |
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