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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2005-01-27 13:30 ９０ｎｍデバイスのＬＶＰ測定容易性評価とLVP測定用素子の開発 ○野中淳平・和田慎一（NECエレクトロニクス） エレソ技報アーカイブへのリンク：  CPM2004-156 ICD2004-201 |
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| 抄録 | （和） | 90nm以降のプロセスでは、トランジスタサイズがLVPで使用されるレーザ波長の回折限界に到達するため、LVP測定が困難になると推測される。そこで、90nmデバイスのLVP測定容易性及び、論理回路素子の入出力パタンとLVP波形の関係について、測定による評価を行った。また、デバイスシミュレーションにより、LVPの波形観測メカニズムの検討を行った。さらに上記の結果を用いて、LVP測定が容易化できる測定用素子構造を提案し、TEG評価を行ったところ、LVP波形の振幅が最大50%程度増大することが確認できた。 |
| （英） | For devices after 90nm generation, LVP measurement will be difficult, because transistor sizes are less than laser diffraction limited. In this study, we evaluated ease of LVP measurement for 90nm devices. We also considered relationship between voltage waveforms and LVP waveforms through LVP measurement and device simulation. For devices after 90nm, inserting on-chip elements for LVP measurement into circuit will ease LVP measurement. We propose a new element structure to ease LVP measurement, and evaluate it. As a result, LVP waveform amplitudes for the elements are 30-50% larger than those for the same size inverters. Ease of LVP measurement is improved by using the proposed structure. | |
| キーワード | （和） | LVP / ディープサブミクロン / デバイスシミュレーション / 可観測性 / パッド / / / |
| （英） | LVP / deep submicron / device simulation / observability / pad / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 104, no. 628, ICD2004-201, pp. 7-12, 2005年1月. | |
| 資料番号 | ICD2004-201 | |
| 発行日 | 2005-01-20 (CPM, ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2004-156 ICD2004-201 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD CPM |
| 開催期間 | 2005-01-27 - 2005-01-28 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術、テスト実装、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ICD |
| 会議コード | 2005-01-ICD-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ９０ｎｍデバイスのＬＶＰ測定容易性評価とLVP測定用素子の開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of LVP observability in 90nm devices, and development of on-chip elements for LVP measurement |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | LVP / LVP |
| キーワード(2)（和/英） | ディープサブミクロン / deep submicron |
| キーワード(3)（和/英） | デバイスシミュレーション / device simulation |
| キーワード(4)（和/英） | 可観測性 / observability |
| キーワード(5)（和/英） | パッド / pad |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野中 淳平 / Junpei Nonaka / ノナカ ジュンペイ |
| 第1著者 所属（和/英） | NECエレクトロニクス株式会社 (略称： NECエレクトロニクス) NEC Electronics Corporation (略称： NEC Electronics) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 和田 慎一 / Shinichi Wada / |
| 第2著者 所属（和/英） | NECエレクトロニクス株式会社 (略称： NECエレクトロニクス) NEC Electronics Corporation (略称： NEC Electronics) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2005-01-27 13:30:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | ICD |
| 資料番号 | CPM2004-156, ICD2004-201 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | no.626(CPM), no.628(ICD) |
| ページ範囲 | pp.7-12 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2005-01-20 (CPM, ICD) |
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