招待論文 ハイメサ導波路を用いた半導体アレー導波路格子の研究 …神徳正樹 535 論 文 〔電子材料〕 Al3Zr 金属間化合物膜の陽極酸化とそれを応用した高信頼性薄膜キャパシタの作製 …稲田晴久 山根美佐雄 佐々木克孝 阿部良夫 川村みどり 柳沢英人 543 〔機構デバイス〕 高出力マイクロポンプの開発 …原田 武 佐々木康彦 河野顕臣 551 〔半導体材料・デバイス〕 SiHX(CH3)4−X 分子のSi表面吸着過程の赤外反射分光解析 …篠原正典 庄子大生 前濱剛廣 赤間洋助 庭野道夫 557 解析にエリアモデルを用いた Spindt型 Mo FEA の電子放出特性 …羅 永春 磯田淳平 柴田 幹 岡田裕之 女川博義 563 SiON系パッシベーション膜の 0.35mmHIGFET 特性への影響 …大鹿克志 黒田 淳 柳沢 寛 571 調和振動モデルによる多孔質シリコンの可視発光の解析 …山本直克 高井裕司 580 レター論文 低抵抗化ベースポリシリコン電極構造をもつ 0.3mm セルフアラインバイポーラ …小中信典 宇賀神守 久良木億 588 3次元フォトニック結晶への CdS の取入れ …花泉 修 斎藤牧人 川上彰二郎 矢野 聡 瀬川勇三郎 倉持栄一 奥 哲 590 MOSFETのブレークダウン・スナップバック領域のマクロモデリング …檀 良 渡辺 薫 八木浩行 592 レター論文著者紹介……… 594 ------------------------------------------------------- 英文論文誌紹介(IEICE Transactions on Electronics)………… 596 複写される方へ……… 597