| No | 113612 |
|---|---|
| 標題（和） | CaS:Cu,F薄膜のアニールと発光特性 |
| 標題（英） | Annealing and luminescent properties of CaS:Cu, F thin film |
| 研究会名（和） | ソサイエティ大会 |
| 研究会名（英） | Society Conference |
| 開催年月日 | 2000-09-30 |
| 終了年月日 | 2000-10-03 |
| 会議種別コード | 1 |
| 共催団体名（和） | |
| 資料番号 | C-9-3 |
| 抄録（和） | 色純度の優れた青色発光薄膜EL素子を目指し、CaS:Cu,Fの薄膜を作製しアニールを行い、温度及び時間の違いによる発光特性の変化を検討した。蒸着はEB蒸着法により石英ガラス基板に行った。基板温度は500℃で、膜厚は500nmとした。この薄膜をアニールした結果800℃と900℃では(110)配向した膜が得られ、850℃では(100)配向した膜が得られた。アニールにより結晶性は向上したが、800℃アニールでは5分以下の短時間のアニールでは結晶性の向上は僅かであった。PLは、800℃5分での弱い白色発光を除き、他のアニールでは約420nmにピークをもつ青色発光が得られた。 |
| 抄録（英） | |
| 収録資料名（和） | 2000年電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集(分冊1〜6) |
| 収録資料の巻号 | |
| ページ開始 | |
| ページ終了 | |
| キーワード（和） | アニール |
| キーワード（英） | anneal |
| 本文の言語 | JPN |
| 著者（和） | 畑中義式 |
| 著者（ヨミ） | ハタナカヨシノリ |
| 著者（英） | Hatanaka Yoshinori |
| 所属機関（和） | 静岡大学電子研 |
| 所属機関（英） | Shizuoka University |
| 著者（和） | 中西洋一郎 |
| 著者（ヨミ） | ナカニシヨウイチロウ |
| 著者（英） | Nakanishi Youitiro |
| 所属機関（和） | 静岡大学電子研 |
| 所属機関（英） | Shizuoka University |
| 著者（和） | 小南裕子 |
| 著者（ヨミ） | コミナミヒロコ |
| 著者（英） | Kominami Hiroko |
| 所属機関（和） | 静岡大学電子科研 |
| 所属機関（英） | Shizuoka University |
| 著者（和） | 中島徹 |
| 著者（ヨミ） | ナカジマトオル |
| 著者（英） | Nakazima Tooru |
| 所属機関（和） | 静岡大学電子研 |
| 所属機関（英） | Shizuoka University |
| 著者（和） | 袴田新太郎 |
| 著者（ヨミ） | ハカマタシンタロウ |
| 著者（英） | Hakamata Shintaro |
| 所属機関（和） | 静岡大学電子研 |
| 所属機関（英） | Shizuoka University |