2003/4/24 更新
| 区 分 |
氏 名 |
所 属 |
| 委員長 |
徳光 永輔 |
東京工業大学・精密工学研究所 東北大学 電気通信研究所 |
| 副委員長 |
渡辺 重佳 |
東芝・研究開発センター |
| 幹事 |
浅野 種正 |
九州工業大学・マイクロ化総合技術センター |
| 幹事 |
平谷 正彦 |
日立製作所・基礎研究所 |
| 幹事補佐 |
西岡 泰城 |
日本大学理工学部 精密機械工学科 |
| 専門委員 |
麻多 進 |
日本電気・先端デバイス開発本部・デバイス基盤グループ |
| 専門委員 |
今永 俊治 |
ソニー・マテリアル研究所・ナノシリコン研究Gp |
| 専門委員 |
大野 吉和 |
ルネサステクノロジ、ウエハプロセス技術統括部 |
| 専門委員 |
鎌倉 良成 |
大阪大学・工学研究科 |
| 専門委員 |
木本 恒暢 |
京都大学・工学研究科 |
| 専門委員 |
小池 典雄 |
松下電器産業・半導体社 事業本部 |
| 専門委員 |
小谷 光司 |
東北大学大学院・工学研究科 |
| 専門委員 |
佐々木公洋 |
金沢大学・工学部 |
| 専門委員 |
佐藤 康博 |
NTTﾏｲｸﾛｼｽﾃﾑｲﾝﾃｸﾞﾚｰｼｮﾝ研究所 |
| 専門委員 |
神力 博 |
東京エレクトロンＡＴ・Ｆプロジェクト |
| 専門委員 |
杉井 寿博 |
富士通研究所・Cプロジェクト部 |
| 専門委員 |
高橋 芳浩 |
日本大学・理工学部 |
| 専門委員 |
高柳万里子 |
東芝セミコンダクター社・SoC研究開発センター |
| 専門委員 |
谷本 伸一 |
三洋電機・マテリアル・デバイス研究所 |
| 専門委員 |
田部 道晴 |
静岡大学・電子工学研究所 |
| 専門委員 |
野口 隆 |
| 専門委員 |
羽路 伸夫 |
横浜国立大学大学院 工学研究院 |
| 専門委員 |
平本 俊郎 |
東京大学・生産技術研究所 |
| 専門委員 |
冬木 隆 |
奈良先端科学技術大学院大学・物質創成科学研究科 |
| 専門委員 |
松尾 直人 |
山口大学・工学部 |
| 専門委員 |
松田 敏弘 |
富山県立大学・工学部 |
| 専門委員 |
松本 智 |
慶応義塾大学・理工学部 |
| 専門委員 |
宮尾 正信 |
九州大学・大学院システム情報科学研究院 |
| 専門委員 |
宮崎 誠一 |
広島大学・大学院先端物質科学研究科 |
| 専門委員 |
山﨑 治 |
シャープ・ＩＣ事業本部生産技術センター |
| 専門委員 |
吉丸 正樹 |
沖電気工業・ｼﾘｺﾝｿﾘｭｰｼｮﾝｶﾝﾊﾟﾆｰ・研究本部 |
| 専門委員 |
若原 昭浩 |
豊橋技術科学大学・電気電子工学系 |