| 区 分 | 氏 名 | 所 属 |
|---|---|---|
| 委員長 | 最上 徹 | ＮＥＣ・シリコンシステム研究所 |
| 副委員長 | 徳光 永輔 | 東京工業大学・精密工学研究所 |
| 幹事 | 木本 恒暢 | 京都大学・工学研究科 |
| 幹事 | 大野 守史 | 半導体MIRAIプロジェクト・High-k材料グループ |
| 幹事補佐 | 赤澤 正道 | 北海道大学・工学部 |
| 委員 | 浅野 種正 | 九州工業大学・マイクロ化総合技術センター |
| 委員 | 今永 俊治 | ソニー・フロンティアサイエンス研究所 |
| 委員 | 上野 和良 | ＮＥＣ・先端デバイス開発本部 |
| 委員 | 大野 吉和 | 三菱電機・ULSI技術開発センター |
| 委員 | 鎌倉 良成 | 大阪大学・工学研究科 |
| 委員 | 川中 繁 | 東芝・システムＬＳＩ開発センター |
| 委員 | 小谷 光司 | 東北大学大学院・工学研究科 |
| 委員 | 古宮 秀雄 | シャープ・IC開発本部・プロセス開発研究所 |
| 委員 | 佐々木 公洋 | 金沢大学・工学部 |
| 委員 | 佐藤 康博 | ＮＴＴ・通信エネルギー研究所 |
| 委員 | 神力 博 | 東京エレクトロン・枚葉成膜システム本部 |
| 委員 | 杉井 寿博 | 富士通研究所・Cプロジェクト部 |
| 委員 | 高橋 芳浩 | 日本大学・理工学部 |
| 委員 | 谷本 伸一 | 三洋電機・マイクロエレクトロニクス研究所 |
| 委員 | 田部 道晴 | 静岡大学・電子工学研究所 |
| 委員 | 西岡 泰城 | 日本テキサス・インスツルメント・筑波研究開発センター |
| 委員 | 野口 隆 | Institut d'Electronique Fondamentale Universite Paris -Sud |
| 委員 | 羽路 伸夫 | 横浜国立大学・工学部 |
| 委員 | 平谷 正彦 | 日立製作所・中央研究所 |
| 委員 | 平本 俊郎 | 東京大学・生産技術研究所 |
| 委員 | 冬木 隆 | 奈良先端科学技術大学院大学・物質創成科学研究科 |
| 委員 | 松尾 一郎 | 松下電子工業㈱半導体社・プロセス開発センター |
| 委員 | 松尾 直人 | 山口大学・工学部 |
| 委員 | 松田 敏弘 | 富山県立大学・工学部 |
| 委員 | 松本 智 | 慶応義塾大学・理工学部 |
| 委員 | 宮尾 正信 | 九州大学・大学院システム情報科学研究院 |
| 委員 | 宮崎 誠一 | 広島大学・大学院先端物質科学研究科 |
| 委員 | 吉丸 正樹 | 沖電気工業・超LSI研究センター |
| 委員 | 若原 昭浩 | 豊橋技術科学大学・電気電子工学系 |