| 役職名称 | 氏名 | 所属 |
| 委員長 | 池田 浩也 | 静岡大学 |
| 副委員長 | 森 貴洋 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 幹事 | 佐道 泰造 | 九州大学 |
| 幹事 | 岡田 浩 | 豊橋技術科学大学 |
| 幹事補佐 | 牧原 克典 | 名古屋大学 |
| 幹事補佐 | 服部 淳一 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 専門委員 | 浅井 栄大 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 専門委員 | 今泉 文伸 | 小山工業高等専門学校 |
| 専門委員 | 上野 哲嗣 | 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ株式会社 |
| 専門委員 | 宇佐美 達矢 | Rapidus株式会社 |
| 専門委員 | 浦岡 行治 | 奈良先端科学技術大学院大学 |
| 専門委員 | 黒木 伸一郎 | 広島大学 |
| 専門委員 | 小寺 哲夫 | 東京科学大学 |
| 専門委員 | 小林 伸彰 | 日本大学 |
| 専門委員 | 小町 潤 | ソニーセミコンダクタソリューションズ（株） |
| 専門委員 | 佐久間 究 | キオクシア株式会社 |
| 専門委員 | 諏訪 智之 | 東北大学 |
| 専門委員 | 関 翔太 | アイクリスタル株式会社 |
| 専門委員 | 高橋 芳浩 | 日本大学 |
| 専門委員 | 寺島 知秀 | 九州大学 |
| 専門委員 | 永溝 幸周 | 大阪大学 |
| 専門委員 | 野口 隆 | 琉球大学 |
| 専門委員 | 野田 泰史 | 大阪大学 |
| 専門委員 | 野村 晋太郎 | 筑波大学 |
| 専門委員 | 平野 博茂 | タワー パートナーズ セミコンダクター 株式会社 |
| 専門委員 | 平本 俊郎 | 東京大学 |
| 専門委員 | 二瀬 卓也 | サンディスク合同会社 |
| 専門委員 | 細井 卓治 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 専門委員 | 松井 尚子 | キヤノンアネルバ株式会社 |
| 専門委員 | 間脇 武蔵 | 東北大学 |
| 顧問 | 大見 俊一郎 | 東京科学大学 |
| 顧問 | 品田 高宏 | 東北大学 |
| 顧問 | 徳光 永輔 | 北陸先端科学技術大学院大学 |
| 顧問 | 宮﨑 誠一 | 広島大学 |