システムナノ技術に関する時限研究専門委員会

システムナノ技術研究会

2017年6月16日(金)開催
第2回研究会「ナノ加工技術とナノ構造評価」

概要：
システムナノ技術に関する時限研究専門委員会では、高性能デバイス開発に必要とされる、高精度材料プロセスおよび材料評価技術に関する研究会を開催します。本研究会では、ナノ加工技術およびナノ評価技術の研究開発動向を知ると共に、これらの分野で話題となっている最先端研究・技術開発に関するご講演をいただきます。

主催：電子情報通信学会　システムナノ技術に関する時限研究専門委員会
日時：2017年6月16日(金) 14:00~17:30
会場：機会振興会館　地下３階　B3-6号室
アクセス：東京メトロ日比谷線神谷町駅徒歩8分, 都営地下鉄三田線　御成門町駅徒歩8分
（アクセスマップ）

プログラム

時間	内容
14:00～14:10	開会挨拶，委員長挨拶一色　秀夫　委員長電気通信大学
14:10～14:55	招待講演「ナノインプリント技術と応用デバイスの研究」水野　潤早稲田大学
14:55～15:40	招待講演「ブロックコポリマーによる自己組織化技術（DSA）」村松　誠東京エレクトロン九州（株）
15:40～15:55	休憩
15:55～16:40	招待講演「ヘリウムイオン顕微鏡技術による観察・評価と加工」小川　真一産業技術総合研究所
16:40～17:25	招待講演「STEMを用いた燃料電池材料の3D評価」佐藤　岳志（株）日立ハイテクノロジーズ
17:25～17:30	閉会
17:40～	交流会

【参加申込み先】
氏名、連絡先（会社あるいは学校名、所属、郵便番号、所在地、電話番号）、交流会参加の有無をE-mailにてSNT研究会事務局（

）までお送り下さい。
【参加費】
一般 3,000円，学生無料(資料が必要な場合は1,000円）
(当日会場にてお支払いください。)
・研究会終了後，交流会（費用：4,000円）を予定しております。
【申込締切】
平成29年6月7日（水）
【問合先】
兵庫県立大学　松井　真二、e-mail:

東京理科大学　目黒　多加志、e-mail:

静岡大学　小野　篤史、e-mail: