| 役職 | 名前 | 本所属 |
| 委員長 | 高原 淳一 | 大阪大学、フォトニクス先端融合研究センター、大学院工学研究科 |
| 副委員長 | 一色 秀夫 | 電気通信大学、情報理工学研究科 先進理工学専攻 |
| 幹事 | 尾崎 信彦 | 和歌山大学、システム工学部 |
| 幹事 | 小野 篤史 | 静岡大学、電子工学研究所 |
| 委員 | 天野 建 | 産業技術総合研究所、電子光技術研究部門 |
| 委員 | 宇髙 勝之 | 早稲田大学、理工学術院 |
| 委員 | 大橋 啓之 | 早稲田大学、ナノ理工学研究機構 |
| 委員 | 小野 崇人 | 東北大学、大学院工学研究科 |
| 委員 | 加々見 丈二 | 神港精機（株） 装置事業部 電子デバイス技術部 |
| 委員 | 勝山 俊夫 | 福井大学、大学院工学研究科 |
| 委員 | 五明 明子 | （独）科学技術振興機構 （JST）研究プロジェクト推進部 主任調査員 |
| 委員 | 小森 和弘 | 産業技術総合研究所、電子光技術研究部門 |
| 委員 | 小山 二三夫 | 東京工業大学、精密工学研究所 |
| 委員 | 清水 三聡 | 産業技術総合研究所、先進パワーエレクトロニクス研究センター |
| 委員 | 高尾 英邦 | 香川大学、微細構造デバイス統合研究センター |
| 委員 | 高田 実 | （株）フォーテクノス 営業部 |
| 委員 | 中尾 正史 | （株）デアネヒステ |
| 委員 | 日暮 栄治 | 東京大学、先端科学技術研究センター |
| 委員 | 堀江 三喜男 | 東京工業大学、精密工学研究所 |
| 委員 | 松井 真二 | 兵庫県立大学、高度産業科学技術研究所 |
| 委員 | 松本 功 | 大陽日酸（株）、グローバルイノベーション本部 化合物事業部 |
| 委員 | 三浦 篤志 | （株）豊田中央研究所 先端研究センター ナノ構造制御プログラム |
| 委員 | 水野 潤 | 早稲田大学、ナノ理工学研究機構 |
| 委員 | 宮内 昭浩 | （株）日立製作所 日立研究所 環境材料プロセス研究部 |
| 委員 | 三宅 弘人 | （株）ダイセル 研究開発本部 先端材料企画部 |
| 委員 | 目黒 多加志 | 東京理科大学、理学部 |
| 委員 | 山田 浩治 | 産業技術総合研究所 |
| 委員 | 萬 伸一 | 日本電気（株）、スマートエネルギー研究所 |