*************************************************
平成17年10月電子情報通信学会SDM研究会
*************************************************
シリコン材料・デバイス研究専門委員会
委員長 堀口文男 副委員長 浅野種正
幹事 西岡泰城・大野守史 幹事補佐 高柳万里子
************** (テーマ) ***********************
「プロセスクリーン化と新プロセス技術」
********************************************
オーガナイザー：中央大学 榎本忠義
●開催日
2005年 10月6日（木）～7日（金）
●開催場所
東北大学未来科学技術共同研究センター
未来情報産業研究館5F
◆プログラム◆
◆平成17年10月6日午後
14:00-14:30
自己整合メタルキャップによるＣｕ配線完全被覆化技術の検討
○齋藤達之、芦原洋司、石川憲輔、宮内正敬、岩崎富生（㈱日立製作所）
14:30-15:00
高速化量子分子動力学法に基づく電気伝導特性推算法の開発とシリコン材料への応用
○坪井秀行、Chutia Arunabhiram、朱志剛、古山通久、遠藤明（東北大学）、久保百司（東北大学、科技振さきがけ）、Carlos A. Del Carpio、宮本明（東北大学）
15:00-15:30
多層Si/SiGe構造におけるSiGe層横方向選択エッチングと多層SOI構造の形成
○仲西知之、高橋博、矢橋健一、大見俊一郎、酒井徹志（東京工業大学）
休憩
15:45-16:15
水酸基終端シリコン表面の形成
○杉田義博（㈱富士通研究所）、伊藤隆司（東北大学）
16:15-16:45
超清浄シリコン表面の形成
○河瀬和雅（三菱電機㈱）、梅田浩司、井上真雄（㈱ルネサステクノロジー）、諏訪智之、樋口正顕、須川成利、寺本章伸、大見忠弘（東北大学）
16:45-17：15
水素によって誘起されるシリコン酸化膜中の欠陥生成
○宮田正靖（セイコーエプソン㈱）、Adri C.T. van Duin、Jamil Tahir-Kheli、William A Goddard III（カリフォルニア工科大学）
17:15-17:45
Supress of the low frequency noise level in (100) and (110) oriented silicon MOSFETs induced by an alkali-free cleaning process
P. Gaubert, A. Teramoto, T. Hamada*, M. Yamamoto and T. Ohmi（東北大学）
18:00-20:00 懇親会
◆平成17年10月7日午前
9:30-10:00
45nm世代用NixSi/HfSiONゲート構造
○西藤哲史、寺井真之、高橋健介、長谷卓、小倉卓、辰巳徹、渡辺啓仁（日本電気株式会社）
10:00-10:30
HfSiON high-kゲート形成プロセスによるBTストレス中のVth安定性改
善
○井上真雄、水谷斉治、野村幸司、由上二郎、土本淳一、大野吉和、米田昌弘(㈱ルネサス テクノロジ）
10:30-11:00
ECR-Ar/N2プラズマにより形成したHfON膜の極薄膜化に関する検討
○佐藤雅樹、黒瀬朋紀、大見俊一郎（東京工業大学）
11:00-11:30
HfNのECR Ar/O2プラズマ酸化プロセスによる極薄HfSiONの形成
○黒瀬朋紀、佐藤雅樹、大見俊一郎（東京工業大学）
11:30-12:00
LC共振法による極薄ゲート絶縁膜の電気的膜厚測定法
○黒田理人、寺本章伸、小村政則、渡辺一史、須川成利、大見忠弘（東北大学）
昼食
◆平成17年10月7日午後
13:00-13:30
化学反応過程表現機能を実装した古典分子動力学計算プログラムの開発と応用
○三浦隆治、坪井秀行、古山通久、遠藤明（東北大学）、久保百司（東北大学、科技振さきがけ）、Carlos A. Del Carpio、宮本明（東北大学）
13:30-14:00
ハイブリッド量子分子動力学法を用いたアモルファスシリコン基板
へのドーピングプロセスの解析
○増田剛、坪井秀行、古山通久、遠藤明（東北大学）、久保百司（東北大学、科学技術振興機構さきがけ）、Carlos A. Del Carpio、宮本 明（東北大学）
14:00-14:30
Excited State Study of Europium doped Yttrium oxide Clusters using Quantum
○ Govindasamy Agalya、Chen Lv 、Hideyuki Tsuboi、Michihisa Koyama、Akira Endou（東北大学）、Momoji Kubo・東北大学、科学技術振興機構さきがけ）、Akira Miyamoto（東北大学）
休憩
14:45-15:15
プラズマディスプレイ用MgO保護膜の劣化プロセスの解明と理論設計
○久保百司（東北大学、科学技術振興機構さきがけ）、菊地宏美、坪井秀行、古山通久、遠藤明、Carlos A. Del Carpio、宮本明（東北大学）
15:15-15:45
Study on the Role of Oxygen Vacancies of Indium Tin Oxide by Density Functional Theory and Accelerated Quantum Chemical Molecular Dynamics Method
○呂晨、王小晶、Agalya Govindasamy、坪井秀行、古山通久、遠藤明（東北大学）、久保百司（東北大学、科技振さきがけ）、Carlos A. Del Carpio、宮本明（東北大学）
15:45-16:15
Theoretical investigation on the electronic properties of conjugated double and triple bond linear carbon chains
○Chutia Arunabhiram、Zhu Zhigang、Tsuboi Hideyuki、Koyama Michihisa、Endou Akira（東北大学）、Kubo Momoji東北大学、科技振さきがけ）、Carlos A. Del Carpio、Miyamoto Akira（東北大学）
16:15-16:45
Investigation of the Electrical and Electronic Properties of
Semiconductor Oxide Gas Sensors by Tight-Binding Quantum Calculations
○Zhu Zhigang、Chutia Arunabhiram、Tsuboi Hideyuki、Koyama Michihisa、Endou Akira、Carlos A. Del Carpio（東北大学）、Kubo Momoji（東北大学、科技振さきがけ）、Miyamoto Akira（東北大学）
SDM研究会ホームページにもどる