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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| IMQ | 2021-05-28 09:40 |
ONLINE | オンライン開催 | 自己教師あり学習によるグレースケール画像を用いた特徴表現学習 ○鷲見優一郎・小島拓人（名大）・沓掛健太朗（理研）・松本哲也・工藤博章（名大）・竹内義則（大同大）・宇佐美徳隆（名大）  IMQ2021-1 |
住宅用太陽光発電システムとして最も使われている多結晶シリコン太陽電池は，転位クラスターの発生による性能低下領域を含んでい... [more] | IMQ2021-1 pp.1-4 |
| IMQ, IE, MVE (共催) CQ (併催) [詳細] |
2019-03-15 14:25 |
鹿児島 | 鹿児島大学 郡元キャンパス | 畳み込みニューラルネットワークの転移学習による多結晶シリコンPL像中の転位領域の推定 ○工藤博章・松本哲也（名大）・沓掛健太朗（理研）・宇佐美徳隆（名大） IMQ2018-69 IE2018-153 MVE2018-100 |
本報告では，多結晶シリコンウェハのPL像に対して，ウェハ内部の結晶欠陥である転位を含んだ領域を特定する方法について検討を... [more] | IMQ2018-69 IE2018-153 MVE2018-100 pp.257-262 |
| IMQ | 2018-10-19 15:05 |
京都 | 京都工芸繊維大学 | 多層パーセプトロンによる多結晶シリコンPL像中の転位領域の推定における次元数に関する検討 ○工藤博章・松本哲也（名大）・沓掛健太朗（理研）・宇佐美徳隆（名大） IMQ2018-14 |
多結晶シリコンウェハのPL像に対して，ウェハ内部の結晶欠陥である転位を含んだ領域を特定する方法について検討を行った．多層... [more] | IMQ2018-14 pp.19-24 |
| IMQ | 2017-12-15 14:20 |
静岡 | 静岡大学浜松キャンパス | 多結晶シリコンPL像中の転位領域の非負値行列因子分解による推定 ○工藤博章・羽山優介・松本哲也・沓掛健太朗・宇佐美徳隆（名大） IMQ2017-22 |
多結晶シリコンウェハのPL像に対して，ウェハ内部の結晶欠陥である転位を含んだ領域を特定する方法について検討を行った．非負... [more] | IMQ2017-22 pp.13-18 |
| IMQ | 2017-10-06 16:15 |
兵庫 | 神戸大学 | 多結晶シリコンPL像中の転位領域のスパースコーディングによる推定に関する検討 ○工藤博章・羽山優介・松本哲也（名大）・沓掛健太朗（東北大）・宇佐美徳隆（名大） IMQ2017-19 |
近年，多結晶シリコンウェハの組織制御が着目されている．本報告では多結晶シリコンウェハのPL像を用い，転位を含んだ領域を特... [more] | IMQ2017-19 pp.29-34 |
| SDM | 2013-12-13 11:20 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | Poly-Si TFTを用いたGate Arrayの設計開発 ○井上雅志・松田時宜・木村 睦（龍谷大） SDM2013-123 |
本研究では、Poly-Si TFTを用いたゲートアレイの設計開発を行った。今回は、相補型インバータとNAND、NORを実... [more] | SDM2013-123 pp.43-47 |
| SDM, OME (共催) |
2012-04-27 16:50 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | 埋め込みゲート構造を有するガラス上の自己整合メタルダブルゲート低温poly-Si TFT ○尾形浩之・一條賢治・近藤健二・岡部泰典・鹿 裕将・加茂慎哉・原 明人（東北学院大） SDM2012-9 OME2012-9 |
マルチゲート多結晶Si（poly-Si）薄膜トランジスタ（TFT）は近年注目を集め, 盛んに研究されているテーマの１つで... [more] | SDM2012-9 OME2012-9 pp.41-44 |
| SDM | 2011-12-16 14:40 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | poly-Si TFTのオーバーシュートドレイン電流の評価とモデリング ○太田俊史・辻 博史・鎌倉良成・谷口研二（阪大） SDM2011-142 |
多結晶シリコン薄膜トランジスタ(poly-Si TFT)のオーバーシュートドレイン電流の測定を行い、ターンオン過渡特性の... [more] | SDM2011-142 pp.53-58 |
| SDM | 2011-12-16 16:00 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | 軟X線源を用いた半導体薄膜の低温結晶化技術の開発 ○部家 彰・野々村勇希・木野翔太・松尾直人・天野 壮・宮本修治・神田一浩・望月孝晏（兵庫県立大）・都甲 薫・佐道泰造・宮尾正信（九大） SDM2011-145 |
結晶化が起こるには、結晶核形成と結晶粒成長の2つのプロセスを経る必要があるが、一般に結晶核形成には多くのエネルギーを必要... [more] | SDM2011-145 pp.71-76 |
| SDM | 2011-07-04 16:40 |
愛知 | 名古屋大学（ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー） | グリーンレーザーによる積層構造シリコン薄膜の同時結晶化と薄膜デバイスへの応用 ○堀田昌宏（奈良先端大/JST）・山崎浩司・町田絵美（奈良先端大）・石河泰明・浦岡行治（奈良先端大/JST） SDM2011-68 |
ガラス基板上に形成された2層積層構造シリコン薄膜に対して, グリーンレーザーアニール(GLA)による同時結晶化を行った.... [more] | SDM2011-68 pp.103-108 |
| SDM | 2010-12-17 11:20 |
京都 | 京都大学(桂) | 多結晶シリコン太陽電池の作製における室温レーザードーピング ○長谷川光洋・平田憲司・高山 環・舟谷友宏・冬木 隆（奈良先端大） SDM2010-189 |
近年、次世代クリーンエネルギーとして太陽電池の需要が世界的に急増している。それに伴い、シリコン原料の不足やコスト削減とい... [more] | SDM2010-189 pp.25-28 |
| SDM, OME (共催) |
2010-04-23 14:40 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | エキシマレーザ・アニールpoly-Si膜のディスク状結晶粒成長における水素の効果 ○部家 彰・山田和史（兵庫県立大）・河本直哉（山口大）・松尾直人（兵庫県立大） SDM2010-10 OME2010-10 |
エキシマレーザ・アニール法により形成したpoly-Si膜のディスク状結晶粒成長に対する水素の効果を検討した．レーザ照射密... [more] | SDM2010-10 OME2010-10 pp.45-48 |
| ED | 2010-04-23 10:45 |
山形 | 伝国の杜（米沢） | 有機ゲート絶縁膜を用いたFETの試作とキャリア輸送特性評価 ○橋本将貴・鈴木貴彦・廣瀬文彦（山形大） ED2010-14 |
我々は多結晶Si中の粒界の電荷輸送への影響を調査するために、150ºC以下でSiFETを低温形成し電気特性評価... [more] | ED2010-14 pp.61-65 |
| SDM | 2009-12-04 14:30 |
奈良 | 奈良先端大 物質創成科学研究科 | ガラス上に形成された大粒径を有する多結晶シリコン薄膜におけるゲッタリング現象 ○原 明人・佐藤 功（東北学院大） SDM2009-163 |
多結晶シリコン薄膜は薄膜トランジスタや太陽電池材料として注目されているが、それらのデバイスの性能・効率・信頼性の向上のた... [more] | SDM2009-163 pp.63-65 |
| SDM | 2009-11-12 14:40 |
東京 | 機械振興会館 | 表面ポテンシャルを用いた薄膜トランジスタのドレイン電流モデル ○辻 博史（阪大/JST）・鎌倉良成・谷口研二（阪大） SDM2009-138 |
多結晶シリコン薄膜トランジスタ(poly-Si TFT)の新たなドレイン電流モデルを提案する．poly-Si TFTの緩... [more] | SDM2009-138 pp.19-22 |
| OME, SDM (共催) |
2009-04-24 17:05 |
佐賀 | 産総研九州センター大会議室 | プラズマCVD-Si膜の金属誘起横方向固相結晶化とTFT特性 ○過能慎太郎・永田 翔・中川 豪・浅野種正（九大） SDM2009-7 OME2009-7 |
プラズマCVD法で堆積した非晶質Siを固相結晶化した場合、超高真空法で蒸着した非晶質Si膜の場合に比べ、結晶核の形成とそ... [more] | SDM2009-7 OME2009-7 pp.29-34 |
| SDM, OME (共催) |
2008-04-11 11:00 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | ストライプ型チャネルを持つ多結晶シリコン薄膜トランジスタの特性ばらつきの評価 ○秋山浩司・渡邉一徳・浅野種正（九大） SDM2008-5 OME2008-5 |
レーザスキャン法により横方向に結晶粒を成長させた多結晶Si (poly-Si)膜上にストライプ型のチャネル形状をもつ多結... [more] | SDM2008-5 OME2008-5 pp.23-26 |
| SDM, OME (共催) |
2008-04-11 11:50 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | Si系薄膜光センサデバイス ○田井光春・昆野康隆・波多野睦子（日立）・宮沢敏夫（日立ディスプレイズ） SDM2008-7 OME2008-7 |
ディスプレイへの機能付加を目的として，薄膜トランジスタの光誘起電流特性を調べ，光センサ素子としての適用可能性を検討した．... [more] | SDM2008-7 OME2008-7 pp.33-36 |
| SDM | 2007-12-14 10:00 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | パルス急速熱処理によるNi内包フェリチンを用いた結晶成長速度の向上 ○越知誠弘・菅原祐太・三浦篤志・浦岡行治・冬木 隆（奈良先端大）・山下一郎（奈良先端大/松下電器） SDM2007-222 |
我々はこれまでにNi内包フェリチンを用いて高品質のシリコン薄膜の結晶化に成功している。本研究では結晶化時間の短縮を目的と... [more] | SDM2007-222 pp.1-4 |
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