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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| R, EMD, CPM, LQE, OPE (共催) |
2017-09-01 09:10 |
青森 | 弘前文化センター | 機械的共振を用いた波長可変マイクロマシン面発光レーザの広帯域掃引・低駆動電圧動作 ○西村 駿・中濵正統・井上俊也・松谷晃宏・坂口孝浩・小山二三夫（東工大）  R2017-31 EMD2017-25 CPM2017-46 OPE2017-55 LQE2017-28 |
面発光レーザにマイクロマシン構造を集積したMEMS VCSELは高速波長掃引や高コヒーレントな光源としてセンシングや医療... [more] | R2017-31 EMD2017-25 CPM2017-46 OPE2017-55 LQE2017-28 pp.37-40 |
| OPE, LQE (共催) |
2014-12-19 11:40 |
東京 | 機械振興会館(12/18)、NTT厚木センタ(12/19) | ［奨励講演］熱応力・静電力駆動のマイクロマシンを用いたアサーマル波長可変面発光レーザ ○中濱正統・坂口孝浩・松谷晃宏・小山二三夫（東工大） OPE2014-144 LQE2014-131 |
熱応力・静電力駆動のマイクロマシン反射鏡をVCSELに集積した構造で，波長温度無依存動作と波長可変動作を同時に実現したの... [more] | OPE2014-144 LQE2014-131 pp.27-30 |
| CPM, OPE, LQE, EMD (共催) |
2011-08-25 15:25 |
北海道 | 北海道大学 創成科学研究棟 ５階 大会議室 | MEMS技術を用いた面発光レーザの波長温度係数の増大と波長可変動作 ○中濱正統・佐野勇人・中田紀彦・松谷晃宏・小山二三夫（東工大） EMD2011-40 CPM2011-84 OPE2011-75 LQE2011-38 |
GaAs系850nm帯の面発光レーザ(VCSEL)に熱駆動のマイクロマシン反射鏡を集積した，波長可変VCSELの設計と実... [more] | EMD2011-40 CPM2011-84 OPE2011-75 LQE2011-38 pp.45-48 |
| LQE | 2010-12-17 09:20 |
東京 | 機械振興会館 | マイクロマシン構造を用いた面発光レーザの波長制御 ○佐野勇人・中田紀彦・中濱正統・松谷晃宏・小山二三夫（東工大） LQE2010-114 |
面発光レーザに熱駆動のマイクロマシン(MEMS)を集積することで波長の温度係数を制御することができる．片持ち梁上部へのS... [more] | LQE2010-114 pp.1-4 |
| LQE | 2010-05-28 13:25 |
福井 | 福井大学 文京キャンパス 総合研究棟Ｉ 13階会議室 | MEMSを用いた方向性結合器型光スイッチング素子の有限要素法解析 ○稲本 慎・丸山武男・飯山宏一（金沢大） LQE2010-8 |
Si光導波路を用いた位相制御型光スイッチング素子は、一般的に熱光学効果を用いるため、消費電力が大きい。そこで、MEMSを... [more] | LQE2010-8 pp.31-34 |
| LQE, OPE (共催) |
2009-06-19 14:30 |
東京 | 機械振興会館6階66号室 | MEMSを位相制御器としたマッハ・ツェンダ干渉型光スイッチ素子の検討 ○稲本 慎・丸山武男・飯山宏一（金沢大） OPE2009-23 LQE2009-26 |
Si光導波路を用いたマッハ・ツェンダ干渉型光スイッチ素子の位相制御器は、一般的に熱光学効果を用いているが、消費電力が大き... [more] | OPE2009-23 LQE2009-26 pp.41-44 |
| LQE | 2009-05-22 09:50 |
富山 | 金沢大学角間キャンパス、自然科学研究科棟 G15会議室 | マイクロマシン構造を用いた面発光レーザの波長温度係数制御 ○佐野勇人・松谷晃宏・小山二三夫（東工大） LQE2009-4 |
面発光レーザに熱駆動のマイクロマシン(MEMS)を集積することで波長の温度係数を制御することができる．本研究では発振波長... [more] | LQE2009-4 pp.19-22 |
| PN, OPE, EMT, LQE (共催) |
2009-01-29 10:10 |
京都 | 京都工芸繊維大学（松ヶ崎キャンパス） | 凹面ミラーを用いた512×512ポート3D-MEMS光スイッチモジュール ○河尻祐子（NTT）・山本 剛（NEL）・山口城治・牧原光宏・石井雄三（NTT）・笹倉久仁彦（NTT-AT）・下川房男（NTT） PN2008-45 OPE2008-148 LQE2008-145 |
光入出力端子数512ポートの3D-MEMS光スイッチモジュールを試作し原理確認を行った．本モジュールは光入出力端子数12... [more] | PN2008-45 OPE2008-148 LQE2008-145 pp.17-20 |
| CPM | 2007-08-10 09:15 |
山形 | 山形大学 | ひずみセンサ一体型ダイアフラム構造水素ガスセンサの作製 ○渡辺優太・奥山澄雄・原田知親・松下浩一（山形大） CPM2007-44 |
SOI(silicon on insulator)基板上にPdを蒸着したダイアフラムをマイクロマシニングによって形成し、... [more] | CPM2007-44 pp.45-48 |
| MW, ED (共催) |
2005-11-17 09:50 |
佐賀 | 佐賀大学 | 小型カンチレバー型MEMSスイッチの高周波特性 ○西野 有・半谷正毅・出尾晋一・曽田真之介・吉田幸久・宮崎守泰（三菱電機） |
シリコン基板に金メッキ技術とニッケルを犠牲層としたマイクロマシニング技術を用い，また，接点を駆動するバイアス電圧を高周波... [more] | ED2005-159 MW2005-114 pp.11-14 |
| ICD | 2005-07-15 14:15 |
愛知 | 豊橋技術科学大学 | ［招待講演］MEMS-CMOS集積化技術によるシリコンスマートマイクロセンサ ○高尾英邦・澤田和明・石田 誠（豊橋技科大） |
半導体技術に基づくリソグラフィー技術や、各種材料の堆積、エッチング、接合技術を駆使することで、マイクロチップ上に様々な微... [more] | ICD2005-62 pp.39-44 |
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