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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| OCS, OFT (併催) |
2006-08-24 13:25 |
宮城 | 東北大学 | SR露光によるブレーズ型回折格子の作製 ○蟹江智彦・片山 誠（住友電工）・森田哲平・外嶋 昇・加藤準一（中沼アートスクリーン）・永山富男・水谷 泰（京都市産技研）・加藤史樹・藤縄伸哉・杉山 進（立命館大）  OFT2006-17 |
SR 露光によるリソグラフィーは、微細な高アスペクト比の３次元構造体を作製する有効な手法であり、 そのレジスト構造体を... [more] |
OFT2006-17 pp.7-9 |
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