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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2010-06-22
14:35
東京 東京大学(生産研An棟) GeO2/Ge界面反応の理解に基づくGeO2膜物性の劣化現象の制御
喜多浩之東大/JST)・王 盛凱李 忠賢吉田まほろ東大)・西村知紀長汐晃輔鳥海 明東大/JSTSDM2010-43
 [more] SDM2010-43
pp.55-60
SDM 2009-06-19
13:00
東京 東京大学(生産研An棟) 金属/ゲルマニウム界面のフェルミレベルピンニングとその制御性
西村知紀長汐晃輔喜多浩之鳥海 明東大/JSTSDM2009-32
Geデバイスの適用世代では微細化に伴う寄生抵抗の低減が必要不可欠であり、接触抵抗においては金属/半導体間のショットキー障... [more] SDM2009-32
pp.33-38
OME 2008-10-31
14:15
東京 東大本郷 工学部6号館3階セミナー室A 水素雰囲気下で蒸着することによるペンタセンTFTの移動度の向上
横山孝理朴 昌範長汐晃輔喜多浩之鳥海 明東大OME2008-53
 [more] OME2008-53
pp.15-20
SDM 2008-06-09
16:15
東京 東京大学(生産研 An棟) MOS反転層モビリティの高精度評価
鳥海 明喜多浩之東大SDM2008-45
 [more] SDM2008-45
pp.17-22
SDM 2008-06-10
10:55
東京 東京大学(生産研 An棟) High-k MOSデバイスのしきい値電圧制御におけるhigh-k/SiO2界面の役割
岩本邦彦上牟田雄一半導体MIRAI-ASET)・布重 裕芝浦工大/半導体MIRAI-産総研ASRC)・平野晃人小川有人渡邉幸宗半導体MIRAI-ASET)・右田慎二水林 亘森田行則半導体MIRAI-産総研ASRC)・高橋正志半導体MIRAI-ASET)・太田裕之半導体MIRAI-産総研ASRC)・生田目俊秀半導体MIRAI-ASET)・鳥海 明半導体MIRAI-産総研ASRC/東大SDM2008-51
 [more] SDM2008-51
pp.53-58
SDM 2007-06-08
13:35
広島 広島大学(学士会館) Ge/High-k膜の界面反応に着目した電気特性の制御
喜多浩之能村英幸鈴木 翔高橋俊岳西村知紀鳥海 明東大SDM2007-47
High-k/Ge MISキャパシタの電気特性はHigh-k材料によって大きく異なっている.HfO2/Geは600℃での... [more] SDM2007-47
pp.85-90
SDM 2006-06-22
14:15
広島 広島大学, 学士会館 還元雰囲気下でのゲート電極形成プロセスによるHfo2膜の初期絶縁破壊
水林 亘小川有人生田目俊秀佐竹秀喜鳥海 明産総研
 [more] SDM2006-61
pp.107-111
ICD, SDM
(共催)
2005-08-19
11:10
北海道 函館国際ホテル Hf系高誘電率ゲート絶縁膜のAl濃度変調及びパーシャルシリサイドゲート電極によるCMOS非対称閾値の改善
門島 勝小川有人高橋正志MIRAI-ASET)・太田裕之MIRAI-ASRC)・三瀬信行岩本邦彦MIRAI-ASET)・右田真司MIRAI-ASRC)・藤原英明佐竹秀喜生田目俊秀MIRAI-ASET)・鳥海 明MIRAI-ASRC/東大
Hf系高誘電率ゲート絶縁膜のCMOSFETへ適用が期待されているが、n-及びp-MOSFETの閾値が非対称になることが問... [more] SDM2005-148 ICD2005-87
pp.31-36
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