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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2013-06-18
09:40
東京 機械振興会館 Al2O3/Ge構造における酸化機構の解明と界面反応がその特性に及ぼす影響
柴山茂久加藤公彦坂下満男竹内和歌奈田岡紀之中塚 理財満鎭明名大SDM2013-46
現在,Al2O3/Ge構造に対するプラズマ酸化で,極薄GeOx界面層の形成により,低界面準位密度(Dit)が実現可能と報... [more] SDM2013-46
pp.13-18
SDM 2012-06-21
10:55
愛知 名古屋大学(ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー) Al2O3/Ge構造への酸素熱処理および酸素ラジカル処理による界面反応機構の解明
柴山茂久名大)・加藤公彦名大/学振)・坂下満男竹内和歌奈田岡紀之中塚 理財満鎭明名大SDM2012-48
高駆動力 Ge MOSFETの実現には,低界面準位密度(Dit)かつ低SiO2換算膜厚を有するhigh-k絶縁膜/Ge構... [more] SDM2012-48
pp.27-32
SDM 2012-06-21
11:35
愛知 名古屋大学(ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー) ゲート電極の還元性がGe基板上Pr酸化膜のPr価数に与える影響
加藤公彦名大/学振)・坂下満男竹内和歌奈田岡紀之中塚 理財満鎭明名大SDM2012-50
本研究では,金属/Pr酸化膜/Geゲートスタック構造の化学結合状態にゲート金属が与える影響について,酸素化学ポテンシャル... [more] SDM2012-50
pp.37-42
SDM 2009-06-19
11:20
東京 東京大学(生産研An棟) GeMIS界面欠陥の電気的性質
田岡紀之水林 亘森田行則右田真司太田裕之半導体MIRAIプロジェクト)・高木信一半導体MIRAIプロジェクト/東大SDM2009-30
Ge MIS界面の電気的特性の理解は、少数キャリアの複雑な応答のため非常に困難である。そこで、本報告では、少数キャリアと... [more] SDM2009-30
pp.21-26
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