講演抄録/キーワード |
講演名 |
2018-01-25 14:30
分子配向性絶縁膜上の有機半導体薄膜作製とそのTFT特性への影響に関する研究 ○沖元 慈・飯村靖文(東京農工大)・大野龍蔵(JSR) EID2017-36 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2017-36 |
抄録 |
(和) |
有機TFTの電気的特性の向上を目指すために、有機材料の分子配向異方性に注目した。通常絶縁の役割しか果たさないOTFTのゲート絶縁層に光反応性水平配向膜材料を用いることで、新たに有機半導体分子の配向制御という役割を与えた。XRDによる水平配向膜上のペンタセンの結晶構造を調べ、ペンタセン分子の配向を確認した。また、OTFT伝導チャネル部の有機半導体分子の配向制御を行うことで、ソース電流に異方的な特性が現れることがわかった。その結果、配向処理方向に依存して移動度が0.21~0.47cm2/Vsという大きな移動度の異方性を確認した。その異方性は、ゲート絶縁層に用いた水平配向膜材料の面内配向分布によって影響されることを明らかにした。 |
(英) |
We have focused on the control of molecular alignment of pentacene thin film for improving carrier mobility of pentacene thin film transistor (TFT). We used photo-reactive gate insulating film for controlling the molecular alignment of pentacene deposited on the film. From XRD (X-ray diffraction) measurements, in-plane XRD patterns of pentacene deposited on UV-processed polymer gate film clearly show the controllability of the crystal orientation of the pentacene film through controlled molecular alignment of pentacene. We fabricate pentacene TFTs for investigating the effect of pentacene molecular alignment on the carrier mobility, and the results showed the anisotropic carrier mobility ranging from 0.2 cm2/Vs to 0.5 cm2/Vs, depending on the alignment direction of pentacene. Moreover, we clarified that the larger in-plane anisotropy of polymer gate insulating film leads to the higher anisotropy in carrier mobility in pentacene TFTs. |
キーワード |
(和) |
TFT / ゲート絶縁膜 / 有機半導体 / 配向制御 / / / / |
(英) |
TFT / Gate insulator / Organic semiconductor / Molecular orientation / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 117, no. 411, EID2017-36, pp. 25-28, 2018年1月. |
資料番号 |
EID2017-36 |
発行日 |
2018-01-18 (EID) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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