講演抄録/キーワード |
講演名 |
2017-12-22 16:15
円柱状Ge膜のFLA結晶化における光学的バンドギャップの効果 ○吉岡尚輝・部家 彰・松尾直人・秋田佳輝(兵庫県立大) EID2017-27 SDM2017-88 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2017-27 SDM2017-88 |
抄録 |
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キーワード |
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文献情報 |
信学技報, vol. 117, no. 373, SDM2017-88, pp. 81-84, 2017年12月. |
資料番号 |
SDM2017-88 |
発行日 |
2017-12-15 (EID, SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
EID2017-27 SDM2017-88 エレソ技報アーカイブへのリンク:EID2017-27 SDM2017-88 |
研究会情報 |
研究会 |
SDM EID |
開催期間 |
2017-12-22 - 2017-12-22 |
開催地(和) |
京都大学 |
開催地(英) |
Kyoto University |
テーマ(和) |
Si、Siを含む材料の作製、プロセス技術、デバイス、およびディスプレイ関連技術 |
テーマ(英) |
Si, Si-related materials, device process, electron devices, and display technology |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
SDM |
会議コード |
2017-12-SDM-EID |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
円柱状Ge膜のFLA結晶化における光学的バンドギャップの効果 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Effect of photonic band gap on flash-lamp-annealing crystallization for Islands-shape a-Ge film |
サブタイトル(英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
吉岡 尚輝 / Naoki Yoshioka / ヨシオカ ナオキ |
第1著者 所属(和/英) |
兵庫県立大学 (略称: 兵庫県立大)
University of Hyogo (略称: Univ og Hyogo) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
部家 彰 / Akira Heya / ヘヤ アキラ |
第2著者 所属(和/英) |
兵庫県立大学 (略称: 兵庫県立大)
University of Hyogo (略称: Univ og Hyogo) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
松尾 直人 / Naoto Matsuo / マツオ ナオト |
第3著者 所属(和/英) |
兵庫県立大学 (略称: 兵庫県立大)
University of Hyogo (略称: Univ og Hyogo) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
秋田 佳輝 / Yoshiki Akita / アキタ ヨシキ |
第4著者 所属(和/英) |
兵庫県立大学 (略称: 兵庫県立大)
University of Hyogo (略称: Univ og Hyogo) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2017-12-22 16:15:00 |
発表時間 |
15分 |
申込先研究会 |
SDM |
資料番号 |
EID2017-27, SDM2017-88 |
巻番号(vol) |
vol.117 |
号番号(no) |
no.372(EID), no.373(SDM) |
ページ範囲 |
pp.81-84 |
ページ数 |
4 |
発行日 |
2017-12-15 (EID, SDM) |
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