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講演抄録/キーワード
講演名 2017-12-15 14:20
多結晶シリコンPL像中の転位領域の非負値行列因子分解による推定
工藤博章羽山優介松本哲也沓掛健太朗宇佐美徳隆名大
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抄録 (和) 多結晶シリコンウェハのPL像に対して,ウェハ内部の結晶欠陥である転位を含んだ領域を特定する方法について検討を行った.非負値行列因子分解の手法を用いて,画像を再構成し,転位領域で再構成誤差が大きくなることを仮定した.また,転位領域は暗い領域を仮定した.負の係数を許容するスパースコーディングによる手法より,良好な結果を得た.また,学習には転位領域を含まない方が良い結果を得た. 
(英) In this report, we studied a specified method of regions including dislocations which are crystallographic defects in a photoluminescence (PL) image of multicrystalline silicon wafers. We utilized a method of non-negative matrix factorization (NMF) to reconstruct the wafer image. We assumed regions of dislocations caused large represent errors and presented darker colors. We obtained effective results by the proposed method than results of sparse coding methods using bases based on independent component analysis or NMF. Sparse coding methods allow negative values as coefficients matrix. As sample images of the learning process, images without dislocations lead effective results.
キーワード (和) 多結晶シリコン / PL像 / 転位 / 非負値行列因子分解 / / / /  
(英) multicrystalline silicon / photoluminescence image / dislocation / non-negative matrix factorization / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 117, no. 356, IMQ2017-22, pp. 13-18, 2017年12月.
資料番号 IMQ2017-22 
発行日 2017-12-08 (IMQ) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 IMQ  
開催期間 2017-12-15 - 2017-12-15 
開催地(和) 静岡大学浜松キャンパス 
開催地(英) Shizuoka University, Hamamatsu Campus 
テーマ(和) 映像ディスプレイとIMQ一般 
テーマ(英) Picture Display, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IMQ 
会議コード 2017-12-IMQ 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 多結晶シリコンPL像中の転位領域の非負値行列因子分解による推定 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Estimation by non-negative matrix factorization of dislocation regions in photoluminescence image of multicrystalline silicon 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 多結晶シリコン / multicrystalline silicon  
キーワード(2)(和/英) PL像 / photoluminescence image  
キーワード(3)(和/英) 転位 / dislocation  
キーワード(4)(和/英) 非負値行列因子分解 / non-negative matrix factorization  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 工藤 博章 / Hiroaki Kudo / クドウ ヒロアキ
第1著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 羽山 優介 / Yusuke Hayama / ハヤマ ユウスケ
第2著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 松本 哲也 / Tetsuya Matsumoto / マツモト テツヤ
第3著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 沓掛 健太朗 / Kentaro Kutsukake / クツカケ ケンタロウ
第4著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 宇佐美 徳隆 / Noritaka Usami / ウサミ ノリタカ
第5著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
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講演者
発表日時 2017-12-15 14:20:00 
発表時間 25 
申込先研究会 IMQ 
資料番号 IEICE-IMQ2017-22 
巻番号(vol) IEICE-117 
号番号(no) no.356 
ページ範囲 pp.13-18 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-IMQ-2017-12-08 


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