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講演抄録/キーワード
講演名 2017-10-06 16:15
多結晶シリコンPL像中の転位領域のスパースコーディングによる推定に関する検討
工藤博章羽山優介松本哲也名大)・沓掛健太朗東北大)・宇佐美徳隆名大
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抄録 (和) 近年,多結晶シリコンウェハの組織制御が着目されている.本報告では多結晶シリコンウェハのPL像を用い,転位を含んだ領域を特定する方法について検討した.スパースコーディングにより画像を再構成する手法を用い,転位を含む領域で再構成誤差が大きくなること,暗い領域であることを前提とした.スパースコーディングに用いる基底は,独立成分分析の混合行列によるものとした.ROC曲線による解析による再構成誤差についての振る舞いから,提案手法の性能について確認することができた. 
(英) Increasing attention has been focused on a structure control of multicrystalline silicon wafers. In this report, we studied a specified method of regions including dislocations in a photoluminescence (PL) image of such wafers. We utilized a method based on a sparse coding algorithm which reconstructed the image. We assumed regions of dislocations caused large represent errors and presented darker colors. A mixture matrix of independent component analysis (ICA) for the original image was used as bases of a sparse coding. From characteristics of represented errors of an analysis of ROC curves, we confirmed performances of the proposed method.
キーワード (和) 多結晶シリコン / PL像 / 転位 / スパースコーディング / / / /  
(英) multicrystalline silicon / photoluminescence image / dislocation / sparse coding / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 117, no. 229, IMQ2017-19, pp. 29-34, 2017年10月.
資料番号 IMQ2017-19 
発行日 2017-09-29 (IMQ) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380

研究会情報
研究会 IMQ  
開催期間 2017-10-06 - 2017-10-06 
開催地(和) 神戸大学 
開催地(英) Kobe Univesity 
テーマ(和) 画像処理とIMQ一般 
テーマ(英) Image Processing, etc. 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 IMQ 
会議コード 2017-10-IMQ 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 多結晶シリコンPL像中の転位領域のスパースコーディングによる推定に関する検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) A study of estimation by sparse coding of dislocation regions in photoluminescence image of multicrystalline silicon 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 多結晶シリコン / multicrystalline silicon  
キーワード(2)(和/英) PL像 / photoluminescence image  
キーワード(3)(和/英) 転位 / dislocation  
キーワード(4)(和/英) スパースコーディング / sparse coding  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 工藤 博章 / Hiroaki Kudo / クドウ ヒロアキ
第1著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 羽山 優介 / Yusuke Hayama / ハヤマ ユウスケ
第2著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 松本 哲也 / Tetsuya Matsumoto / マツモト テツヤ
第3著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 沓掛 健太朗 / Kentaro Kutsukake / クツカケ ケンタロウ
第4著者 所属(和/英) 東北大学 (略称: 東北大)
Tohoku University (略称: Tohoku Univ.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 宇佐美 徳隆 / Noritaka Usami / ウサミ ノリタカ
第5著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
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講演者
発表日時 2017-10-06 16:15:00 
発表時間 25 
申込先研究会 IMQ 
資料番号 IEICE-IMQ2017-19 
巻番号(vol) IEICE-117 
号番号(no) no.229 
ページ範囲 pp.29-34 
ページ数 IEICE-6 
発行日 IEICE-IMQ-2017-09-29 


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