講演抄録/キーワード |
講演名 |
2017-08-09 15:25
放射光ディープX線リソグラフィーシステム (BL11)を用いた大面積均一加工の検討 ○竹内雅耶・山口明啓・内海裕一(兵庫県立大) ED2017-29 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2017-29 |
抄録 |
(和) |
高アスペクト比な3次元微細構造体を作製するためのディープX線リソグラフィーシステム (BL11)を、兵庫県立大学所有の中型放射光施設NewSUBARUに新たに設置した。このシステムのビームラインで得られる光は高い平行度と高い輝度を有するが、その光強度分布は不均一な馬蹄形となる。本研究では、このシステムを用いて数百cm2レベルの大面積領域でも均一な光強度でサンプルを露光するためのビームスキャン方法を検討し、さらに感光性樹脂 (PMMA)を用いた微細加工特性を評価した。その結果、偏差が数%以下の均一な加工深さが得られることを確認した。 |
(英) |
We developed new deep X-ray lithography system (BL11) to fabricate high aspect ratio three-dimensional microstructure at the “NewSUBARU” synchrotron radiation facility. In this study, beam scan method to expose sample with uniform intensity distribution in large area was considered and processing characteristics of resist (PMMA) was evaluated. As a result, uniform processing depth of deviation of a few percent or less was obtained. |
キーワード |
(和) |
LIGAプロセス / ディープX線リソグラフィー / シンクロトロン放射光 / 微細加工 / / / / |
(英) |
LIGA process / Deep x-ray lithography / Dynchrotron radiation / Microfabrication / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 117, no. 172, ED2017-29, pp. 17-18, 2017年8月. |
資料番号 |
ED2017-29 |
発行日 |
2017-08-02 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
ED2017-29 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2017-29 |
研究会情報 |
研究会 |
ED |
開催期間 |
2017-08-09 - 2017-08-10 |
開催地(和) |
機械振興会館 |
開催地(英) |
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
テーマ(和) |
センサ,MEMS,一般 |
テーマ(英) |
Sensor, MEMS, general |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
ED |
会議コード |
2017-08-ED |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
放射光ディープX線リソグラフィーシステム (BL11)を用いた大面積均一加工の検討 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Large area uniform processing characterization using synchrotron radiation deep X-ray lithography system (BL11) |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
LIGAプロセス / LIGA process |
キーワード(2)(和/英) |
ディープX線リソグラフィー / Deep x-ray lithography |
キーワード(3)(和/英) |
シンクロトロン放射光 / Dynchrotron radiation |
キーワード(4)(和/英) |
微細加工 / Microfabrication |
キーワード(5)(和/英) |
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キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
竹内 雅耶 / Masaya Takeuchi / タケウチ マサヤ |
第1著者 所属(和/英) |
兵庫県立大学 (略称: 兵庫県立大)
University of Hyogo (略称: Univ. of Hyogo) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
山口 明啓 / Akinobu Yamaguchi / ヤマグチ アキノブ |
第2著者 所属(和/英) |
兵庫県立大学 (略称: 兵庫県立大)
University of Hyogo (略称: Univ. of Hyogo) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
内海 裕一 / Utsumi Yuichi / ウツミ ユウイチ |
第3著者 所属(和/英) |
兵庫県立大学 (略称: 兵庫県立大)
University of Hyogo (略称: Univ. of Hyogo) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第16著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2017-08-09 15:25:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
ED |
資料番号 |
ED2017-29 |
巻番号(vol) |
vol.117 |
号番号(no) |
no.172 |
ページ範囲 |
pp.17-18 |
ページ数 |
2 |
発行日 |
2017-08-02 (ED) |