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講演抄録/キーワード
講演名 2017-08-09 15:25
放射光ディープX線リソグラフィーシステム (BL11)を用いた大面積均一加工の検討
竹内雅耶山口明啓内海裕一兵庫県立大ED2017-29 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2017-29
抄録 (和) 高アスペクト比な3次元微細構造体を作製するためのディープX線リソグラフィーシステム (BL11)を、兵庫県立大学所有の中型放射光施設NewSUBARUに新たに設置した。このシステムのビームラインで得られる光は高い平行度と高い輝度を有するが、その光強度分布は不均一な馬蹄形となる。本研究では、このシステムを用いて数百cm2レベルの大面積領域でも均一な光強度でサンプルを露光するためのビームスキャン方法を検討し、さらに感光性樹脂 (PMMA)を用いた微細加工特性を評価した。その結果、偏差が数%以下の均一な加工深さが得られることを確認した。 
(英) We developed new deep X-ray lithography system (BL11) to fabricate high aspect ratio three-dimensional microstructure at the “NewSUBARU” synchrotron radiation facility. In this study, beam scan method to expose sample with uniform intensity distribution in large area was considered and processing characteristics of resist (PMMA) was evaluated. As a result, uniform processing depth of deviation of a few percent or less was obtained.
キーワード (和) LIGAプロセス / ディープX線リソグラフィー / シンクロトロン放射光 / 微細加工 / / / /  
(英) LIGA process / Deep x-ray lithography / Dynchrotron radiation / Microfabrication / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 117, no. 172, ED2017-29, pp. 17-18, 2017年8月.
資料番号 ED2017-29 
発行日 2017-08-02 (ED) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ED2017-29 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2017-29

研究会情報
研究会 ED  
開催期間 2017-08-09 - 2017-08-10 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) センサ,MEMS,一般 
テーマ(英) Sensor, MEMS, general 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2017-08-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 放射光ディープX線リソグラフィーシステム (BL11)を用いた大面積均一加工の検討 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Large area uniform processing characterization using synchrotron radiation deep X-ray lithography system (BL11) 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) LIGAプロセス / LIGA process  
キーワード(2)(和/英) ディープX線リソグラフィー / Deep x-ray lithography  
キーワード(3)(和/英) シンクロトロン放射光 / Dynchrotron radiation  
キーワード(4)(和/英) 微細加工 / Microfabrication  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 竹内 雅耶 / Masaya Takeuchi / タケウチ マサヤ
第1著者 所属(和/英) 兵庫県立大学 (略称: 兵庫県立大)
University of Hyogo (略称: Univ. of Hyogo)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 山口 明啓 / Akinobu Yamaguchi / ヤマグチ アキノブ
第2著者 所属(和/英) 兵庫県立大学 (略称: 兵庫県立大)
University of Hyogo (略称: Univ. of Hyogo)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 内海 裕一 / Utsumi Yuichi / ウツミ ユウイチ
第3著者 所属(和/英) 兵庫県立大学 (略称: 兵庫県立大)
University of Hyogo (略称: Univ. of Hyogo)
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講演者 第1著者 
発表日時 2017-08-09 15:25:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2017-29 
巻番号(vol) vol.117 
号番号(no) no.172 
ページ範囲 pp.17-18 
ページ数
発行日 2017-08-02 (ED) 


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