講演抄録/キーワード |
講演名 |
2017-04-21 11:00
[依頼講演]高耐熱ポリマー固体電解質(TT-PSE)を用いた不揮発プログラマブルロジック向け高信頼性Cu原子スイッチ ○岡本浩一郎・多田宗弘・伴野直樹・井口憲幸・波田博光・阪本利司・宮村 信・辻 幸秀・根橋竜介・森岡あゆ香・白 旭・杉林直彦(NEC) ICD2017-13 エレソ技報アーカイブへのリンク:ICD2017-13 |
抄録 |
(和) |
低消費電力FPGAを実現可能とするCu架橋の形成でスイッチングする原子スイッチについて、Cuイオンが伝導するポリマー固体電解質(PSE:polymer-solid electrolyte)の改良を行い、耐熱性と絶縁耐圧を向上させた。耐熱性が400℃以上に向上したことで、標準的なロジックファブのBEOLプロセス温度(400℃)においてCu原子スイッチの集積化が可能となった。高耐熱性(Thermally tolerant)PSE(TT-PSE)を用いて原子スイッチを試作したところ、オン、オフ双方の状態において、-65℃/150℃の1000時間冷熱温度サイクル試験後においても不良は発生せず、高い信頼性を有していることを実証した。 |
(英) |
Robust Cu atom switch with higher operation reliability has been developed featuring an over-400C thermally tolerant polymer-solid electrolyte (TT-PSE).The improved thermal tolerance of PSE enables atom switch integration using standard Cu-BEOL (fully 400oC) process. The TT-PSE also gives higher breakdown voltage (+1V) with keeping low set voltage (2V). Data retention characteristics after thermal cycle stress at temperature ranging from -65 to 150C for 1000 cycles are also confirmed for the first time. The developed atom switch is to be a technology enabler of reliable reprogrammable logics for future applications operated at high temperatures. |
キーワード |
(和) |
原子スイッチ / クロスバー / 不揮発再構成回路 / / / / / |
(英) |
Atom switch / Crossbar / Nonvolatile programmable logic / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 117, no. 9, ICD2017-13, pp. 67-72, 2017年4月. |
資料番号 |
ICD2017-13 |
発行日 |
2017-04-13 (ICD) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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