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講演抄録/キーワード
講演名 2017-04-21 11:00
[依頼講演]高耐熱ポリマー固体電解質(TT-PSE)を用いた不揮発プログラマブルロジック向け高信頼性Cu原子スイッチ
岡本浩一郎多田宗弘伴野直樹井口憲幸波田博光阪本利司宮村 信辻 幸秀根橋竜介森岡あゆ香白 旭杉林直彦NECICD2017-13 エレソ技報アーカイブへのリンク:ICD2017-13
抄録 (和) 低消費電力FPGAを実現可能とするCu架橋の形成でスイッチングする原子スイッチについて、Cuイオンが伝導するポリマー固体電解質(PSE:polymer-solid electrolyte)の改良を行い、耐熱性と絶縁耐圧を向上させた。耐熱性が400℃以上に向上したことで、標準的なロジックファブのBEOLプロセス温度(400℃)においてCu原子スイッチの集積化が可能となった。高耐熱性(Thermally tolerant)PSE(TT-PSE)を用いて原子スイッチを試作したところ、オン、オフ双方の状態において、-65℃/150℃の1000時間冷熱温度サイクル試験後においても不良は発生せず、高い信頼性を有していることを実証した。 
(英) Robust Cu atom switch with higher operation reliability has been developed featuring an over-400C thermally tolerant polymer-solid electrolyte (TT-PSE).The improved thermal tolerance of PSE enables atom switch integration using standard Cu-BEOL (fully 400oC) process. The TT-PSE also gives higher breakdown voltage (+1V) with keeping low set voltage (2V). Data retention characteristics after thermal cycle stress at temperature ranging from -65 to 150C for 1000 cycles are also confirmed for the first time. The developed atom switch is to be a technology enabler of reliable reprogrammable logics for future applications operated at high temperatures.
キーワード (和) 原子スイッチ / クロスバー / 不揮発再構成回路 / / / / /  
(英) Atom switch / Crossbar / Nonvolatile programmable logic / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 117, no. 9, ICD2017-13, pp. 67-72, 2017年4月.
資料番号 ICD2017-13 
発行日 2017-04-13 (ICD) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード ICD2017-13 エレソ技報アーカイブへのリンク:ICD2017-13

研究会情報
研究会 ICD  
開催期間 2017-04-20 - 2017-04-21 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英)  
テーマ(和) メモリ技術と集積回路関連一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ICD 
会議コード 2017-04-ICD 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 高耐熱ポリマー固体電解質(TT-PSE)を用いた不揮発プログラマブルロジック向け高信頼性Cu原子スイッチ 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Highly reliable Cu atom switch using thermally tolerant Polymer-solid Electrolyte (TT-PSE) for Nonvolatile Programmable Logic 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 原子スイッチ / Atom switch  
キーワード(2)(和/英) クロスバー / Crossbar  
キーワード(3)(和/英) 不揮発再構成回路 / Nonvolatile programmable logic  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 岡本 浩一郎 / Koichiro Okamoto / オカモト コウイチロウ
第1著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 多田 宗弘 / Munehiro Tada / タダ ムネヒロ
第2著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 伴野 直樹 / Naoki Banno / バンノ ナオキ
第3著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 井口 憲幸 / Noriyuki Iguchi / イグチ ノリユキ
第4著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 波田 博光 / Hiromitsu Hada / ハダ ヒロミツ
第5著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 阪本 利司 / Toshitsugu Sakamoto / サカモト トシツグ
第6著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 宮村 信 / Makoto Miyamura / ミヤムラ マコト
第7著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 辻 幸秀 / Yukihide Tsuji / ツジ ユキヒデ
第8著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 根橋 竜介 / Ryusuke Nebashi / ネバシ リュウスケ
第9著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 森岡 あゆ香 / Ayuka Morioka / モリオカ アユカ
第10著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 白 旭 / Xu Bai / Xu Bai
第11著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) 杉林 直彦 / Tadahiko Sugibayashi / スギバヤシ タダヒコ
第12著者 所属(和/英) 日本電気株式会社 (略称: NEC)
NEC Corporation (略称: NEC)
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講演者 第1著者 
発表日時 2017-04-21 11:00:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ICD 
資料番号 ICD2017-13 
巻番号(vol) vol.117 
号番号(no) no.9 
ページ範囲 pp.67-72 
ページ数
発行日 2017-04-13 (ICD) 


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