講演抄録/キーワード |
講演名 |
2016-07-23 10:25
原料交互供給法による酸化スズナノワイヤーの成長と形状制御 ○寺迫智昭(愛媛大)・矢木正和(香川高専) CPM2016-29 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2016-29 |
抄録 |
(和) |
スズ(Sn)粉末と水(H2O)を原料,Au 薄膜を触媒とする大気圧 CVD 法において,Sn と H2O を時間的に分離して供給する原料交互供給法による酸化スズ(SnO2)ナノワイヤー(NWs)の気相-液相-固相(VLS)成長の可能性が検討された.X 線回折測定及び走査型電子顕微鏡による表面形態観察から SnO2 NWs の成長が確認された.また原料交互供給技術が成長温度の上昇に伴う直径の増大の抑制に有効であることが明らかになった.またサイクル数が300~700 の範囲ではサイクル数に依らず,平均直径はほぼ一定であった. SnO2 NWs は酸素空孔もしくは格子間スズ原子に起因するオレンジ色発光を示し,その強度は成長温度とともに増加した. |
(英) |
V apor-liquid-solid (VLS) growth of tin dioxide (SnO2) nanowires (NWs) on the c-plane sapphire substrate coated with the 30 nm thick Au catalytic film was performed by atmospheric-pressure CVD utilizing the alternate source supply (ASS) of tin (Sn) and water (H2O). X-ray diffraction measurements and scanning electron microscope (SEM) observations revealed the successful growth of SnO2 NWs by the alternate source supply technique. It was also confirmed that the ASS technique is effective for suppressing the enhancement of the NWs average diameter due to the increase in growth temperature (Tg). In the cycle number range fro m 300 to 700, the NWs average diameter was found to be independent of cycle number. The SnO2 NWs exhibited a broad orange emission associated with O vacancies and/or Sn interstitial atoms and its intensity became larger with increasing Tg. |
キーワード |
(和) |
酸化スズ / 大気圧CVD法 / 気相-液相-固相成長 / 走査型電子顕微鏡 / 表面モフォロジー / / / |
(英) |
SnO2 / Atmospheric-pressure CVD / Vapor-liquid-solid growth / Scanning electron microscope / Surface morphology / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 116, no. 157, CPM2016-29, pp. 21-26, 2016年7月. |
資料番号 |
CPM2016-29 |
発行日 |
2016-07-15 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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