講演抄録/キーワード |
講演名 |
2016-07-22 16:30
薄いHfNx膜上のCu(111)面高配向成長 ○佐藤 勝(北見工大)・青柳英二(東北大)・武山真弓(北見工大) CPM2016-27 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2016-27 |
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文献情報 |
信学技報, vol. 116, no. 157, CPM2016-27, pp. 15-18, 2016年7月. |
資料番号 |
CPM2016-27 |
発行日 |
2016-07-15 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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