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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2016-01-22 11:15 アミドネート1価Cu錯体を用いた超臨界流体中Cu堆積 ○Md Rasadujjaman・渡邉満洋（山梨大）・須藤 弘・町田英明（気相成長）・近藤英一（山梨大）  SDM2015-110 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2015-110 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 115, no. 417, SDM2015-110, pp. 9-12, 2016年1月. | |
| 資料番号 | SDM2015-110 | |
| 発行日 | 2016-01-15 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2015-110 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2015-110 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2016-01-22 - 2016-01-22 |
| 開催地（和） | 東京大学 山上会館 |
| 開催地（英） | Sanjo Conference Hall, The University of Tokyo |
| テーマ（和） | 配線・実装技術と関連材料技術 |
| テーマ（英） | Interconnects, Package and related materials |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2016-01-SDM |
| 本文の言語 | 英語（日本語タイトルあり） |
| タイトル（和） | アミドネート1価Cu錯体を用いた超臨界流体中Cu堆積 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Copper Thin Film Growth using Cu(I) Amidinate Precursor in Supercritical Carbon Dioxide |
| サブタイトル（英） | |
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| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | Md Rasadujjaman / Md Rasadujjaman / エムディー ラサジュジャマン |
| 第1著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡邉 満洋 / Mitsuhiro Watanabe / ワタナベ ミツヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 須藤 弘 / Hiroshi Sudoh / スドウ ヒロシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 気相成長株式会社 (略称： 気相成長) Gas phase growth (略称： Gas phase growth) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 町田 英明 / Hideaki Machida / マチダ ヒデアキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 気相成長株式会社 (略称： 気相成長) Gas phase growth (略称： Gas phase growth) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 近藤 英一 / Eiichi Kondoh / コンドウ エイイチ |
| 第5著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2016-01-22 11:15:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2015-110 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | no.417 |
| ページ範囲 | pp.9-12 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2016-01-15 (SDM) |
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