講演抄録/キーワード |
講演名 |
2015-03-02 13:25
MEMS技術を用いた指触覚デバイスの設計と製作(第2報) ○足立丈宗・堀川祐樹・星 陽一・曽根順治(東京工芸大) HIP2014-80 |
抄録 |
(和) |
現在, 指の皮膚内にある触覚器官へ直接情報を提示する多くのデバイスが研究されており, 振動などで擬似的に触覚情報を提示するもの, 直接的に触覚情報を提示するものが開発・研究されている. しかし, 提示精度と大きさの面から, 装着型としての活用が難しい. 本稿では, 高密度な情報生成可能なMEMS技術を用いて, 指腹に触覚提示を行うデバイスを開発する. それは, 高速で, 大きな力が生成可能な圧電方式を採用した装着型MEMSデバイスを提案する. 今回は,アクチュエータを前回よりもSi基板上に高密度で配置した. アクチュエータを設計改良し, シミュレーションの解析能力・精度を上げてアクチュエータの特性解析を行う. 次に, DC対抗ターゲット式スパッタ装置で, Si基板上に圧電材料であるPZTを成膜条件変えて成膜し, XRDで測定して結晶性の評価を行い, 蛍光X線分析(XRF)による, 元素量分析を調べた |
(英) |
One is contact force sensation and others are vibration methods in researches of tactile display. Vibration methods are suit for slip sense. Contact force sensation is not suit for wearable display. Therefore, we use MEMS technology to represent high-density stimuli. We improved the layout of cantilever actuator and confirmed performance of actuator using FEM analysis. We also developed optimal sputter condition of PZT film deposition. We confirmed major crystallization of PZT by XRD and suitable atomic element weight percent by X-ray Fluorescence Analysis. |
キーワード |
(和) |
MEMS / 触覚提示 / 設計 / シミュレーション / 圧電アクチュエータ / / / |
(英) |
MEMS / Tactile Sensation / Design / Simulation / Piezoelectric actuator / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 114, no. 483, HIP2014-80, pp. 7-10, 2015年3月. |
資料番号 |
HIP2014-80 |
発行日 |
2015-02-23 (HIP) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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HIP2014-80 |
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