講演抄録/キーワード |
講演名 |
2014-12-02 14:50
65 nmプロセスにおけるアンテナダメージによる経年劣化の測定と評価 ○岸田 亮・大島 梓・小林和淑(京都工繊大) ICD2014-106 CPSY2014-118 エレソ技報アーカイブへのリンク:ICD2014-106 |
抄録 |
(和) |
近年の集積回路の微細化により,アンテナダメージによる信頼性の低下が懸念されている.本稿では,アンテナダメージによる経年劣化の主要因の1つであるBTI (Bias Temperature Instability) への影響を評価する.評価回路には発振経路の1ヶ所のみにアンテナを接続した65 nm プロセスのリングオシレータを用いる.アンテナ比5k以下であるアンテナダメージの小さい構造ではNBTI (Negative BTI) への影響は同じであった.アンテナ比50k のアンテナダメージの大きい構造ではNBTI が増加する.アンテナ比50k でもPBTI (Positive BTI) は発生せず,ポリシリコンゲートではPBTI が発生しないことを確認した.バルクとSOTB (Silicon On Thin BOX) でBTI の傾向が同じであることから,SOTB でもアンテナダメージを緩和できる.ダメージを緩和するにはアンテナをドレインにつなげることが有効である. |
(英) |
Degradations of reliability caused by plasma induced damage (PID) have become a significant concern with miniaturizing a device size. In this paper, we evaluate BTI (Bias Temperature Instability) which is a main factor of aging degradation caused by PID. We fabricated ring oscillators with an antenna structure on a single stage in 65 nm process. NBTI (Negative BTI) is almost equivalent in small PID structures which are less than AR (Antenna Ratio) of 5k. NBTI increases in large PID structures which is AR of 50k. PBTI (Positive BTI) does not occur even in AR of 50k. PBTI does not appear in poly silicon gate. SOTB (Silicon On Thin BOX) can relieve PID because BTI degradation is equivalent between bulk and SOTB. Connecting an antenna to a drain is good approach to relieve PID. |
キーワード |
(和) |
アンテナダメージ / BTI (Bias Temperature Instability) / SOTB (Silicon On Thin BOX) / リングオシ レータ / 発振周波数 / 信頼性 / / |
(英) |
PID (Plasma Induced Damage) / BTI (Bias Temperature Instability) / SOTB (Silicon On Thin BOX) / ring oscillator / frequency / reliability / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 114, no. 345, ICD2014-106, pp. 123-128, 2014年12月. |
資料番号 |
ICD2014-106 |
発行日 |
2014-11-24 (ICD, CPSY) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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