講演抄録/キーワード |
講演名 |
2013-02-27 16:05
フレキシブルデバイス応用を目指したセルフスイッチング型ナノダイオードの整流特性 ○孫 屹・木村祐太・前元利彦・佐々誠彦(阪工大)・葛西誠也(北大) ED2012-133 SDM2012-162 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2012-133 SDM2012-162 |
抄録 |
(和) |
酸化物半導体のデバイス応用として,セルフスイッチング型ナノダイオード(Self Switching nano-Diode;SSD)に着目した.SSDは高速で動作する新機能ナノデバイスとして注目されており,高周波動作やフレキシブル基板上にSSDを作製した報告もあり,将来,安価なRFIDタグに応用できるデバイスとして有望と考えられている.我々はワイドギャップ半導体である酸化亜鉛(ZnO)をガラス基板上に成膜し,電子ビーム露光とウェットエッチングを用いた室温プロセスによってZnO-SSD を作製した.さまざまな寸法を持つSSDについて,それらの整流特性を評価した.さらにフレキシブルなSSDの開発を目的として,プラスチックであるポリエチレンナフタレート(PEN)基板上にもZnO-SSDを作製し,曲げ耐性を調べたのでその結果についても報告する. |
(英) |
We focus on Self Switching nano-Diodes (SSD) as a application for oxide semiconductors. The SSD is a novel functional nano-device which is operating at a high frequency. Fabrication and characterization of SSDs using III-V compound semiconductors have been reported so far. On the other hand, SSDs using oxide semiconductors on flexible substrates are expected to be the device application to a RFID tag in near future. However, there are few reports about the oxide SSDs. In this report, we report on the fabrication and characterization of SSDs using a transparent oxide semiconductor Zinc Oxide (ZnO) on glass substrates. The SSDs were fabricated by using electron beam lithography and wet chemical etching at room temperature. ZnO-SSDs on the polyethylene naphthalate (PEN) were also characterized by the bending experiments for flexible applications. |
キーワード |
(和) |
酸化亜鉛 / セルフスイッチング型ナノダイオード / 透明 / ガラス基板 / フレキシブル / / / |
(英) |
Zinc oxide (ZnO) / Self Switching nano-Diode (SSD) / Transparent / Glass substrate / Flexible / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 112, no. 445, ED2012-133, pp. 31-34, 2013年2月. |
資料番号 |
ED2012-133 |
発行日 |
2013-02-20 (ED, SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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