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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-06-15 10:00 L10およびL11規則合金膜を被覆した磁気力顕微鏡探針の空間分解能と反転磁界 ○石原慎司・大竹 充・二本正昭（中大）  MR2012-7 エレソ技報アーカイブへのリンク：MR2012-7 |
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| 抄録 | （和） | L10構造に規則化したFePd合金膜およびL11構造に規則化したCoPt合金膜を先端半径4 nmのSi探針に被覆することにより磁気力顕微鏡（MFM）探針を作製し，被覆磁性材料，被覆合金膜の規則度，および，被覆膜厚がMFM分解能と探針反転磁界に及ぼす影響について系統的に調べた．分解能は被覆材料および膜厚により影響された．膜厚を80から20 nmに減少させると，L10-FePdおよびL11-CoPt膜被覆探針の分解能が，それぞれ，9.1から7.9 nmまで，9.1から7.5 nmまで向上した．規則度（S）が0から0.52に向上するにつれて，80 nm厚のL10-FePd膜を被覆した探針の反転磁界は0.25から1.50 kOeまで増加した．反転磁界は被覆膜厚によっても変化した．膜厚が20から80 nmに増加すると，S = 0.52のL10-FePd膜被覆探針およびS = 0.09のL11-CoPt膜被覆探針の反転磁界は，それぞれ，0.90から1.50 kOeまで，1.70から2.70 kOeまで増加した．本研究により，L10-FePdもしくはL11-CoPt合金膜を先鋭なSi探針に被覆することにより，10 nmより高い分解能を持ち，かつ，1.5 kOeよりも高い反転磁界を持つMFM探針の作製が可能であることが示された． |
| （英） | Magnetic force microscope (MFM) tips are prepared by coating Si tips of 4 nm radius with L10 ordered FePd and L11 ordered CoPt alloy films varying the thickness in a range between 20 and 80 nm. The effects of coated material, order degree, and coating thickness on the MFM spatial resolution as well as the switching field of MFM tip are investigated. The MFM resolution is influenced by the coated material and the coating thickness. As the coating thickness decreases from 80 to 20 nm, resolution is improved from 9.1 to 7.9 nm and from 9.1 to 7.5 nm for tips coated with FePd and CoPt films, respectively. The switching field of tip coated with 80-nm-thick FePd film increases from 0.25 to 1.50 kOe with increasing the order degree (S) of L10 from 0 to 0.52. The switching field is also influenced by the coating thickness. As the coating thickness increases from 20 to 80 nm, the switching field increases from 0.90 to 1.50 kOe and from 1.70 to 2.70 kOe for tips coated with FePd film of S = 0.52 and coated with CoPt film of S = 0.09, respectively. The present study has shown that it is possible to prepare an MFM tip with the resolution better than 10 nm and the switching field higher than 1.5 kOe by coating a sharp Si tip with L10 ordered FePd alloy or L11 ordered CoPt alloy film. | |
| キーワード | （和） | 磁気力顕微鏡探針 / 分解能 / 反転磁界 / L10 / L11 / 規則合金 / FePd / CoPt |
| （英） | magnetic force microscope tip / resolution / switching field / L10 / L11 / ordered alloy / FePd / CoPt | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, 2012年6月. | |
| 資料番号 | ||
| 発行日 | 2012-06-07 (MR) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MR2012-7 エレソ技報アーカイブへのリンク：MR2012-7 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MRIS ITE-MMS |
| 開催期間 | 2012-06-14 - 2012-06-15 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | 記録システム，一般 |
| テーマ（英） | REcording system, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MRIS |
| 会議コード | 2012-06-MR-MMS |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | L10およびL11規則合金膜を被覆した磁気力顕微鏡探針の空間分解能と反転磁界 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Spatial Resolution and Switching Field of Magnetic Force Microscope Tips Coated with L10 and L11 Ordered Magnetic Films |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 磁気力顕微鏡探針 / magnetic force microscope tip |
| キーワード(2)（和/英） | 分解能 / resolution |
| キーワード(3)（和/英） | 反転磁界 / switching field |
| キーワード(4)（和/英） | L10 / L10 |
| キーワード(5)（和/英） | L11 / L11 |
| キーワード(6)（和/英） | 規則合金 / ordered alloy |
| キーワード(7)（和/英） | FePd / FePd |
| キーワード(8)（和/英） | CoPt / CoPt |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石原 慎司 / Shinji Ishihara / イシハラ シンジ |
| 第1著者 所属（和/英） | 中央大学 (略称： 中大) Chuo University (略称： Chuo Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大竹 充 / Mitsuru Ohtake / オオタケ ミツル |
| 第2著者 所属（和/英） | 中央大学 (略称： 中大) Chuo University (略称： Chuo Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 二本 正昭 / Masaaki Futamoto / フタモト マサアキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 中央大学 (略称： 中大) Chuo University (略称： Chuo Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-06-15 10:00:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | MRIS |
| 資料番号 | MR2012-7 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.80 |
| ページ範囲 | pp.35-42 |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | 2012-06-07 (MR) |
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