講演抄録/キーワード |
講演名 |
2012-04-19 13:25
非線形MEMS共振器を用いたメモリの読出しおよび書込み操作に関する一検討 ○八尾 惇・引原隆士(京大) NLP2012-2 |
抄録 |
(和) |
Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)デバイスの1つであるMEMS共振器が周波数応答にヒステリシス特性を有する場合,
強制励振下で, 2種類の安定周期振動が生じる.
Badzeyらはこの2種類の安定周期振動を有する非線形MEMS共振器を, 機械的な1ビットのメモリ素子として使用することを提案した.
本報告ではこの提案を受け, 非線形MEMS共振器を用いたメモリの読出し操作を意味する2種類の安定周期振動の変位測定を,
共振器の櫛歯電極のキャパシタに流れる電流測定により実現する.
さらに, この変位測定の結果を用いて, メモリの書込み操作である安定周期振動間の切り替えを検討する. |
(英) |
Recently, MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) resonator has been extensively studied.
MEMS resonator substantially exhibits bistable and hysteretic response when the nonlinear characteristics appear.
Badzey reported that the nonlinear MEMS resonator can be applied to a memory device.
Based on their results, we try to demonstrate read and write operations of the memory device. In this paper, the system is read out via a current through capacitor which is proportional to the displacement of MEMS resonator
in differential configuration.
The writing operation is achieved between two stable vibrations by feedback control. |
キーワード |
(和) |
非線形 / MEMS / 共振器 / メモリ / 読出し操作 / 書込み操作 / / |
(英) |
Nonlinear / MEMS / resonator / memory device / read operation / write operation / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 112, no. 6, NLP2012-2, pp. 7-11, 2012年4月. |
資料番号 |
NLP2012-2 |
発行日 |
2012-04-12 (NLP) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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NLP2012-2 |