講演抄録/キーワード |
講演名 |
2011-09-26 15:50
c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数 ○中東佑太(同志社大)・柳谷隆彦(名工大)・松川真美・渡辺好章(同志社大) US2011-50 |
抄録 |
(和) |
横波型弾性表面波(SH型SAW)は液体中に音波を漏洩せずに伝搬するため,液体の導電率や粘性を測定できる.c軸が基板面に対して一方向かつ平行に配向したc軸平行配向ZnO膜を用いれば任意の基板上にSH型SAWセンサを作製できる可能性がある.なお,理論解析より,IDT / ZnO膜(0º, 90º, $\psi$) / 石英基板構造において,$\psi$ = 55º,H / $\lambda$ = 0.21のときに電気機械結合係数(K2)が最大3.4 %となることがわかっている.本報告では,同構造のデバイスを作製し,$\psi$ = 0º-90ºと変化させた際のK2を評価した.また,液体中でのSH型SAW励振実験を行った. |
(英) |
A shear horizontal type surface acoustic wave (SH-SAW) propagates at liquid/solid interface without energy leakage to the liquid. This device can detect changes in conductivity and viscosity of liquid. c-axis parallel oriented ZnO film can be one of the best candidates for the SH-SAW liquid sensor on various substrates. Theoretical investigation of K2 value in IDT / ZnO (0º, 90º, $\psi$) film / silica glass substrate structure showed that maximum value of K2 = 3.4 % was found at $\psi$ = 55º with H / $\lambda$ = 0.21. In this study, we fabricated these structures and evaluated K2 values. Finally, excitations of SH-SAW were performed in the liquid. |
キーワード |
(和) |
c軸平行配向ZnO膜 / SH型SAW / 電気機械結合係数 / / / / / |
(英) |
c-axis parallel oriented ZnO film / SH-SAW / electromechanical coupling coefficient / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 111, no. 215, US2011-50, pp. 23-26, 2011年9月. |
資料番号 |
US2011-50 |
発行日 |
2011-09-19 (US) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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US2011-50 |