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講演抄録/キーワード
講演名 2011-02-23 15:40
マイクロサイズの電子線筺筒の開発とその応用
根尾陽一郎高木康男藤野高弘小池昭史静岡大)・長尾昌善吉田知也西 孝産総研)・村田英一酒井健太郎名城大)・青木 徹三村秀典静岡大ED2010-196 SDM2010-231 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2010-196 SDM2010-231
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文献情報 信学技報, vol. 110, no. 423, ED2010-196, pp. 25-29, 2011年2月.
資料番号 ED2010-196 
発行日 2011-02-16 (ED, SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
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研究会情報
研究会 SDM ED  
開催期間 2011-02-23 - 2011-02-24 
開催地(和) 北海道大学 百年記念会館 
開催地(英) Hokkaido Univ. 
テーマ(和) 機能ナノデバイス及び関連技術 
テーマ(英) Functional nanodevices and related technologies 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2011-02-SDM-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) マイクロサイズの電子線筺筒の開発とその応用 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Development of Miniaturized Electron Optical Column in micro scale and its Application to Mask-less Lithography 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 根尾 陽一郎 / Yoichiro Neo / ネオ ヨウイチロウ
第1著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics (略称: Shizuoka Univ. RIE)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 高木 康男 / Yasuo Takagi / タカギ ヤスオ
第2著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics (略称: Shizuoka Univ. RIE)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 藤野 高弘 / Takahiro Fujino / フジノ タカヒロ
第3著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics (略称: Shizuoka Univ. RIE)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 小池 昭史 / Akifumi Koike / コイケ アキフミ
第4著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics (略称: Shizuoka Univ. RIE)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 長尾 昌善 / Masayoshi Nagao / ナガオ マサヨシ
第5著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: ASIT)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 吉田 知也 / Tomoya Yoshida / ヨシダ トモヤ
第6著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: ASIT)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 西 孝 / Takashi Nishi /
第7著者 所属(和/英) 産業技術総合研究所 (略称: 産総研)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称: ASIT)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 村田 英一 / Hidekazu Murata / ムラタ ヒデカズ
第8著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 酒井 健太郎 / Kentaro Sakai / サカイ ケンタロウ
第9著者 所属(和/英) 名城大学 (略称: 名城大)
Meijo University (略称: Meijo Univ.)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) 青木 徹 / Toru Aoki / アオキ トオル
第10著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics (略称: Shizuoka Univ. RIE)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) 三村 秀典 / Hidenori Mimura / ミムラ ヒデノリ
第11著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所 (略称: 静岡大)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics (略称: Shizuoka Univ. RIE)
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講演者 第1著者 
発表日時 2011-02-23 15:40:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2010-196, SDM2010-231 
巻番号(vol) vol.110 
号番号(no) no.423(ED), no.424(SDM) 
ページ範囲 pp.25-29 
ページ数
発行日 2011-02-16 (ED, SDM) 


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