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講演抄録/キーワード
講演名
2011-02-23 15:40
マイクロサイズの電子線筺筒の開発とその応用
○
根尾陽一郎
・
高木康男
・
藤野高弘
・
小池昭史
(
静岡大
)・
長尾昌善
・
吉田知也
・
西 孝
(
産総研
)・
村田英一
・
酒井健太郎
(
名城大
)・
青木 徹
・
三村秀典
(
静岡大
)
ED2010-196 SDM2010-231
エレソ技報アーカイブへのリンク:
ED2010-196
SDM2010-231
抄録
(和)
(まだ登録されていません)
(英)
(Not available yet)
キーワード
(和)
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(英)
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文献情報
信学技報, vol. 110, no. 423, ED2010-196, pp. 25-29, 2011年2月.
資料番号
ED2010-196
発行日
2011-02-16 (ED, SDM)
ISSN
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
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ED2010-196 SDM2010-231
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SDM2010-231
研究会情報
研究会
SDM ED
開催期間
2011-02-23 - 2011-02-24
開催地(和)
北海道大学 百年記念会館
開催地(英)
Hokkaido Univ.
テーマ(和)
機能ナノデバイス及び関連技術
テーマ(英)
Functional nanodevices and related technologies
講演論文情報の詳細
申込み研究会
ED
会議コード
2011-02-SDM-ED
本文の言語
日本語
タイトル(和)
マイクロサイズの電子線筺筒の開発とその応用
サブタイトル(和)
タイトル(英)
Development of Miniaturized Electron Optical Column in micro scale and its Application to Mask-less Lithography
サブタイトル(英)
キーワード(1)(和/英)
/
キーワード(2)(和/英)
/
キーワード(3)(和/英)
/
キーワード(4)(和/英)
/
キーワード(5)(和/英)
/
キーワード(6)(和/英)
/
キーワード(7)(和/英)
/
キーワード(8)(和/英)
/
第1著者 氏名(和/英/ヨミ)
根尾 陽一郎
/
Yoichiro Neo
/
ネオ ヨウイチロウ
第1著者 所属(和/英)
静岡大学電子工学研究所
(略称:
静岡大
)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics
(略称:
Shizuoka Univ. RIE
)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ)
高木 康男
/
Yasuo Takagi
/
タカギ ヤスオ
第2著者 所属(和/英)
静岡大学電子工学研究所
(略称:
静岡大
)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics
(略称:
Shizuoka Univ. RIE
)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ)
藤野 高弘
/
Takahiro Fujino
/
フジノ タカヒロ
第3著者 所属(和/英)
静岡大学電子工学研究所
(略称:
静岡大
)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics
(略称:
Shizuoka Univ. RIE
)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ)
小池 昭史
/
Akifumi Koike
/
コイケ アキフミ
第4著者 所属(和/英)
静岡大学電子工学研究所
(略称:
静岡大
)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics
(略称:
Shizuoka Univ. RIE
)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ)
長尾 昌善
/
Masayoshi Nagao
/
ナガオ マサヨシ
第5著者 所属(和/英)
産業技術総合研究所
(略称:
産総研
)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
(略称:
ASIT
)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ)
吉田 知也
/
Tomoya Yoshida
/
ヨシダ トモヤ
第6著者 所属(和/英)
産業技術総合研究所
(略称:
産総研
)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
(略称:
ASIT
)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ)
西 孝
/
Takashi Nishi
/
第7著者 所属(和/英)
産業技術総合研究所
(略称:
産総研
)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
(略称:
ASIT
)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ)
村田 英一
/
Hidekazu Murata
/
ムラタ ヒデカズ
第8著者 所属(和/英)
名城大学
(略称:
名城大
)
Meijo University
(略称:
Meijo Univ.
)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ)
酒井 健太郎
/
Kentaro Sakai
/
サカイ ケンタロウ
第9著者 所属(和/英)
名城大学
(略称:
名城大
)
Meijo University
(略称:
Meijo Univ.
)
第10著者 氏名(和/英/ヨミ)
青木 徹
/
Toru Aoki
/
アオキ トオル
第10著者 所属(和/英)
静岡大学電子工学研究所
(略称:
静岡大
)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics
(略称:
Shizuoka Univ. RIE
)
第11著者 氏名(和/英/ヨミ)
三村 秀典
/
Hidenori Mimura
/
ミムラ ヒデノリ
第11著者 所属(和/英)
静岡大学電子工学研究所
(略称:
静岡大
)
Shizuoka University Reaearch Institute of electronics
(略称:
Shizuoka Univ. RIE
)
第12著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第12著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第13著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第14著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第15著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第16著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第17著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第18著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第19著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第20著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
講演者
第1著者
発表日時
2011-02-23 15:40:00
発表時間
25分
申込先研究会
ED
資料番号
ED2010-196, SDM2010-231
巻番号(vol)
vol.110
号番号(no)
no.423(ED), no.424(SDM)
ページ範囲
pp.25-29
ページ数
5
発行日
2011-02-16 (ED, SDM)
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